[发明专利]电子发生装置及离子注入设备在审
| 申请号： | 201910538143.0 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110277297A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张新建;张聪;石庆球 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种电子发生装置及离子注入设备，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上以隔离所述反应腔的内壁与所述电子发生模块。在对电子发生装置进行保养时，只需要对隔离模块进行擦拭清洗，而不用对反应腔的内壁进行擦拭清洗，因而不会损耗反应腔的内壁，降低了生产成本及降低了金属污染的风险，并且，因为隔离模块是可拆卸的设置于反应腔的内壁上，所以隔离模块便于拆洗和更换，从而提高了电子发生装置的保养效率。 | ||
| 搜索关键词： | 反应腔 隔离模块 内壁 电子发生装置 电子发生 离子注入设备 可拆卸的 擦拭 清洗 拆洗 保养效率 金属污染 模块设置 生产成本 保养 隔离 | ||
【主权项】：
1.一种电子发生装置，其特征在于，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上以隔离所述反应腔的内壁与所述电子发生模块。
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