[发明专利]电子发生装置及离子注入设备

说明书

本发明提供了一种电子发生装置及离子注入设备，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上以隔离所述反应腔的内壁与所述电子发生模块。在对电子发生装置进行保养时，只需要对隔离模块进行擦拭清洗，而不用对反应腔的内壁进行擦拭清洗，因而不会损耗反应腔的内壁，降低了生产成本及降低了金属污染的风险，并且，因为隔离模块是可拆卸的设置于反应腔的内壁上，所以隔离模块便于拆洗和更换，从而提高了电子发生装置的保养效率。

技术领域

本发明涉及半导体制备技术领域，尤其涉及一种电子发生装置及离子注入设备。

背景技术

离子注入设备是高压小型加速器中的一种，应用数量最多，它是由离子源得到所需要的离子，离子经过加速得到几百上千电子伏能量的离子束，用做半导体材料、大规模集成电路和器件的离子注入。

离子注入设备中，电子发生装置是一种用来中和晶圆表面电荷的装置，其原理为通过灯丝发射电子，均匀的施加在晶圆表面，进而减小电荷缺陷的几率。电子发生装置保养是离子注入机月度保养必做的项目之一，但是电子发生装置的电弧反应腔内部由于电离产生了一层厚厚的涂膜，涂膜附着在电弧反应腔的内壁上，影响电阻，进而影响发射电流，导致发射电流偏低。通常，电子发生装置的电弧反应腔的保养方法为利用百洁布和水洗擦电弧反应腔的内部，保养的次数多了会对电弧反应腔的腔体造成很大损耗，提高了生产成本，同时容易产生金属污染。

发明内容

本发明的目的在于提供一种电子发生装置及离子注入设备，能够提高电子发生装置的保养效率，降低生产成本和金属污染的风险。

为了达到上述目的，本发明提供了一种电子发生装置，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上以隔离所述反应腔的内壁与所述电子发生模块。

可选的，所述隔离模块的形状与所述反应腔的形状相匹配，以使所述隔离模块完全覆盖所述反应腔的内壁。

可选的，所述隔离模块包括若干衬板，且所述衬板的数量与所述反应腔的内壁的数量相同，一个所述衬板完全覆盖所述反应腔的一个内壁。

可选的，所述衬板包括石墨衬板。

可选的，所述衬板的厚度介于0.5mm-1.5mm之间。

可选的，所述反应腔的内壁上设置有若干卡槽，所述衬板插入所述卡槽内以与所述反应腔可拆卸连接。

可选的，所述电子发生模块还包括电源及钨灯丝，所述电源与所述钨灯丝连接，所述钨灯丝对所述反应腔进行加热以使所述反应腔内的气体电离并产生电子。

可选的，所述灯丝呈螺旋形。

本发明还提供一种离子注入设备，包括离子发生模块、晶圆承载模块及所述的电子发生装置，所述电子发生装置发射的电子束进入所述离子发生模块发射的离子束中，并共同注入所述晶圆承载模块承载的晶圆中。

可选的，所述电子发生装置设置于所述离子发生模块及所述晶圆承载模块之间，并且，所述电子发生装置与所述离子发生模块之间的在离子束流经方向上的距离大于所述电子发生装置与所述晶圆承载模块之间在离子束流经方向上的距离。

在本发明提供的电子发生装置及离子注入设备中，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上，当需要对电子发生装置进行保养时，只需要将所述隔离模块拆下清洗即可，而不用对反应腔的内壁进行擦拭清洗，因而不会损耗反应腔的内壁，降低了生产成本，提高了电子发生装置的保养效率，并且所述隔离模块隔离了所述反应腔的内壁与所述电子发生模块，从而降低了反应腔被金属污染的风险。

附图说明