[发明专利]电子发生装置及离子注入设备在审
| 申请号： | 201910538143.0 | 申请日： | 2019-06-20 |
| 公开（公告）号： | CN110277297A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 张新建;张聪;石庆球 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H01J37/317 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅 |
| 地址： | 201315*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 反应腔 隔离模块 内壁 电子发生装置 电子发生 离子注入设备 可拆卸的 擦拭 清洗 拆洗 保养效率 金属污染 模块设置 生产成本 保养 隔离 | ||
1.一种电子发生装置，其特征在于，包括电子发生模块、反应腔和隔离模块，所述电子发生模块设置于所述反应腔内以产生电子，所述隔离模块可拆卸的设置于所述反应腔的内壁上以隔离所述反应腔的内壁与所述电子发生模块。
2.如权利要求1所述的电子发生装置，其特征在于，所述隔离模块的形状与所述反应腔的形状相匹配，以使所述隔离模块完全覆盖所述反应腔的内壁。
3.如权利要求1所述的电子发生装置，其特征在于，所述隔离模块包括若干衬板，且所述衬板的数量与所述反应腔的内壁的数量相同，一个所述衬板完全覆盖所述反应腔的一个内壁。
4.如权利要求3所述的电子发生装置，其特征在于，所述衬板包括石墨衬板。
5.如权利要求3或4所述的电子发生装置，其特征在于，所述衬板的厚度介于0.5mm-1.5mm之间。
6.如权利要求3所述的电子发生装置，其特征在于，所述反应腔的内壁上设置有若干卡槽，所述衬板插入所述卡槽内以与所述反应腔可拆卸连接。
7.如权利要求1所述的电子发生装置，其特征在于，所述电子发生模块还包括电源及与所述电源连接的钨灯丝，所述钨灯丝对所述反应腔进行加热以使所述反应腔内的气体电离并产生电子。
8.如权利要求7所述的电子发生装置，其特征在于，所述钨灯丝呈螺旋形。
9.一种离子注入设备，其特征在于，包括离子发生模块、晶圆承载模块及如权利要求1-8中任一项所述的电子发生装置，所述电子发生装置发射的电子束进入所述离子发生模块发射的离子束中，并共同注入所述晶圆承载模块承载的晶圆中。
10.如权利要求9所述的离子注入设备，其特征在于，所述电子发生装置设置于所述离子发生模块及所述晶圆承载模块之间，并且，所述电子发生装置与所述离子发生模块之间在离子束流经方向上的距离大于所述电子发生装置与所述晶圆承载模块之间在离子束流经方向上的距离。
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