[发明专利]一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质有效
| 申请号： | 201910526117.6 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112099317B | 公开（公告）日： | 2022-03-11 |
| 发明（设计）人： | 崔佳明;朱岳彬;廖飞红 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光刻设备及其控制方法、装置和存储介质，其中光刻设备的控制方法包括：位于曝光区的一运动台在曝光工序中匀速运动时，运动台的匀速速度为第一速度，控制另一运动台在非曝光区运动的速度小于或等于第一预设速度，第一预设速度小于第一速度，使得导轨的振动较小，进而保证在曝光区进行曝光工序的运动台受到的扰动尽可能小，使两个运动台之间的串扰尽可能被消除，保证运动台的曝光精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光刻 设备 及其 控制 方法 装置 存储 介质 | ||
【主权项】：
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