[发明专利]一种阵列基板、显示面板及阵列基板的制造方法有效

专利信息
申请号: 201910507078.5 申请日: 2019-06-12
公开(公告)号: CN110211974B 公开(公告)日: 2022-05-24
发明(设计)人: 袁永 申请(专利权)人: 厦门天马微电子有限公司
主分类号: H01L27/12 分类号: H01L27/12;H01L21/77
代理公司: 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人: 孟金喆
地址: 361101 福建*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 发明提供一种阵列基板、显示面板以及阵列基板的制造方法。本发明提供的阵列基板包括依次形成的衬底基板;第一薄膜晶体管的第一有源层,第一有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的源漏接触区;第一绝缘层;第一金属层,第一金属层包括第一连接部,第一连接部与第一有源层的一源漏接触区交叠;成第二薄膜晶体管的第二有源层,第二有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的源漏接触区;第一连接部与第一有源层的一源漏接触区交叠;第一有源层的源漏接触区与第二有源层的源漏接触区交叠并通过第一绝缘层上的过孔和第一连接部电连接。通过本发明可以简化制作工艺,还可以节省更多的电路空间。
搜索关键词: 一种 阵列 显示 面板 制造 方法
【主权项】:
1.一种阵列基板,其特征在于,包括:衬底基板;位于所述衬底基板上的用于形成第一薄膜晶体管的第一有源层,所述第一有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区;位于所述第一有源层上的第一绝缘层;位于所述第一绝缘层上的第一金属层,所述第一金属层包括第一连接部,所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠;位于所述第一绝缘层和所述第一连接部上的用于形成第二薄膜晶体管的第二有源层,所述第二有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区,所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠;其中,所述第一有源层的源漏接触区与所述第二有源层的源漏接触区交叠并通过所述第一绝缘层上的过孔和所述第一连接部电连接。
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