[发明专利]一种阵列基板、显示面板及阵列基板的制造方法

说明书

本发明提供一种阵列基板、显示面板以及阵列基板的制造方法。本发明提供的阵列基板包括依次形成的衬底基板；第一薄膜晶体管的第一有源层，第一有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的源漏接触区；第一绝缘层；第一金属层，第一金属层包括第一连接部，第一连接部与第一有源层的一源漏接触区交叠；成第二薄膜晶体管的第二有源层，第二有源层包括沟道区和位于沟道区两侧的源漏接触区；第一连接部与第一有源层的一源漏接触区交叠；第一有源层的源漏接触区与第二有源层的源漏接触区交叠并通过第一绝缘层上的过孔和第一连接部电连接。通过本发明可以简化制作工艺，还可以节省更多的电路空间。

技术领域

本申请涉及显示技术领域，具体涉及阵列基板和包含其的显示面板以及阵列基板的制造方法。

背景技术

现有技术中，平面显示器从驱动方式分为有源矩阵显示器和无源矩阵显示器。有源矩阵显示器和无源矩阵显示器的区别在于有源矩阵显示器的电路结构中设置有有源元件，通常有源元件为薄膜品体管。有源矩阵显示器通过薄膜品体管控制显示器的像素等区域工作。

但是电路结构中需要多个薄膜品体管共同作用实现控制像素发光，电路结构较为复杂，器件繁多。因此，如何简化电路结构成为亟待解决的问题。

发明内容

有鉴于此，本发明提供一种阵列基板、包含该阵列基板的显示面板以及阵列基板的制造方法。

本发明提供了一种阵列基板，包括：

衬底基板；

位于所述衬底基板上的用于形成第一薄膜晶体管的第一有源层，所述第一有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区；

位于所述第一有源层上的第一绝缘层；

位于所述第一绝缘层上的第一金属层，所述第一金属层包括第一连接部，所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠；

位于所述第一绝缘层和所述第一连接部上的用于形成第二薄膜晶体管的第二有源层，所述第二有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区，所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠；

其中，所述第一有源层的源漏接触区与所述第二有源层的源漏接触区交叠并通过所述第一绝缘层上的过孔和所述第一连接部电连接。

本发明还提供了一种包含该阵列基板的显示面板。

本发明还包括阵列基板的制造方法，包括：

提供衬底基板；

在所述衬底基板一侧形成第一薄膜晶体管的第一有源层，所述第一有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区；

在所述第一有源层远离所述衬底基板一侧形成第一绝缘层，在所述第一绝缘层上形成暴露所述第一有源层的一源漏接触区的第一过孔；

在所述第一绝缘层远离所述衬底基板一侧形成第一金属层；

图案化所述第一金属层至少形成第一连接部，所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠并通过所述第一过孔与所述第一有源层的源漏接触区接触；

在所述第一金属层远离所述衬底基板一侧形成用于形成第二薄膜晶体管的第二有源层，所述第二有源层包括沟道区和位于所述沟道区两侧的源漏接触区，所述第一连接部与所述第一有源层的一源漏接触区交叠。

通过本发明可以简化制作工艺，还可以节省更多的电路空间。

附图说明

图1为现有技术中的一种阵列基板的结构示意图；

图2为本申请实施例提供的一种阵列基板结构图；

图3为本申请实施例提供的又一种阵列基板结构图；