[发明专利]检查装置

摘要

检查装置20包括至少具有接收自多个像素(周期性检查对象物)PX有周期地并列地设置的主液晶面板(检查对象基板)10M的光的光接收元件25、以及用以在光接收元件25使光成像的成像部件26，并摄影与像素PX有关的图像的照相机(摄影部)21；经由将通过照相机21摄影的图像与参照图像进行比较，判定像素PX的好坏的判定部31；经由使光接收元件25与成像部件26相对位移，或者使主液晶面板10M与照相机21相对位移，将照相机21的光学分辨率的数值调整成像素PX的周期的整数分之一的分辨率调整部32。

主权项

1.一种检查装置，其特征在于，/n包括：/n摄影部，至少具有接收自多个周期性检查对象物有周期地并列地设置的检查对象基板的光的光接收元件、以及用以在所述光接收元件使所述光成像的成像部件，并摄影与所述周期性检查对象物有关的图像；/n判定部，经由将通过所述摄影部摄影的所述图像与参照图像进行比较，判定所述周期性检查对象物的好坏；以及/n分解能调整部，经由使所述光接收元件与所述成像部件相对位移，或者使所述检查对象基板与所述摄影部相对位移，将所述摄影部的分解能的数值调整成所述周期性检查对象物的周期的整数分之一。/n