[发明专利]检查装置有效
申请号: | 201910503406.4 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN110609439B | 公开(公告)日: | 2023-01-17 |
发明(设计)人: | 堀田浩司 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
主分类号: | G03F1/84 | 分类号: | G03F1/84;G01N21/95 |
代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚;习冬梅 |
地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 检查 装置 | ||
1.一种检查装置,其特征在于,
包括:
摄影部,至少具有接收自多个周期性检查对象物有周期地并列地设置的检查对象基板的光的光接收元件、以及用以在所述光接收元件使所述光成像的成像部件,并摄影与所述周期性检查对象物有关的图像;
判定部,经由将通过所述摄影部摄影的所述图像与参照图像进行比较,判定所述周期性检查对象物的好坏;以及
分辨率调整部,经由使所述光接收元件与所述成像部件相对位移,或者使所述检查对象基板与所述摄影部相对位移,将所述摄影部的分辨率的数值调整成所述周期性检查对象物的周期的整数分之一。
2.根据权利要求1所述的检查装置,其特征在于,
所述成像部件由多个透镜构成;
所述分辨率调整部相对于所述光接收元件使所述多个透镜相对位移。
3.根据权利要求1所述的检查装置,其特征在于,
包括:
摄影移动部,所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动;
所述分辨率调整部相对于所述检查对象基板,使所述摄影移动部与所述摄影部一起在靠近远离的方向相对位移。
4.根据权利要求1至3任一项所述的检查装置,其特征在于,
包括:
摄影移动部,所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动;以及
分辨率调整部,经由使通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动速度、与所述光接收元件的抽样速度的至少一者变动,而调整通过所述摄影部摄影的所述图像的分辨率。
5.根据权利要求1至3任一项所述的检查装置,其特征在于,
包括:
摄影移动部,所述摄影部被安装且使所述摄影部相对于所述检查对象基板沿着一方向移动;以及
角度调整部,经由使所述摄影部与所述检查对象基板相对位移,而调整通过所述摄影移动部的所述摄影部的移动方向与多个所述周期性检查对象物的排列方向之间可能发生的角度差。
6.根据权利要求5所述的检查装置,其特征在于,
所述角度调整部相对于所述摄影部,使所述检查对象基板在所述移动方向与相对于所述移动方向正交的方向分别相对位移。
7.根据权利要求1、2、3、6任一项所述的检查装置,其特征在于,
包括:
位置调整部,在所述检查对象基板被分割成每个配置了多个所述周期性检查对象物的多个检查对象区域且在多个所述检查对象区域分别设置位置调整指标部的情况下,将在所述检查对象区域配置的多个所述周期性检查对象物通过所述摄影部摄影之前,将与所述位置调整指标部有关的图像通过所述摄影部摄影,基于与所述位置调整指标部有关的图像进行所述检查对象基板的位置调整。
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G03F 图纹面的照相制版工艺,例如,印刷工艺、半导体器件的加工工艺;其所用材料;其所用原版;其所用专用设备
G03F1-00 用于图纹面的照相制版的原版,例如掩膜,光掩膜;其所用空白掩膜或其所用薄膜;其专门适用于此的容器;其制备
G03F1-20 .用于通过带电粒子束(CPB)辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如通过电子束;其制备
G03F1-22 .用于通过100nm或更短波长辐照成像的掩膜或空白掩膜,例如 X射线掩膜、深紫外
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G03F1-38 .具有辅助特征的掩膜,例如用于校准或测试的特殊涂层或标记;其制备