[发明专利]自适应周期波形控制器有效
申请号: | 201910501067.6 | 申请日: | 2015-12-02 |
公开(公告)号: | CN110299277B | 公开(公告)日: | 2021-12-31 |
发明(设计)人: | 拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;乔纳森·斯米卡 | 申请(专利权)人: | MKS仪器有限公司 |
主分类号: | H01J37/32 | 分类号: | H01J37/32 |
代理公司: | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人: | 梁洪源;康泉 |
地址: | 美国马*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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摘要: | 本发明涉及自适应周期波形控制器。重复设定点生成器模块根据在连续时间间隔期间重复的预定模式而选择性地改变输出参数的设定点。闭环模块在时间间隔中的第一时间间隔期间,基于(i)所述时间间隔中的第一时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第一时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个闭环值。调节模块在时间间隔中的第一时间间隔期间,基于(i)时间间隔中的第二时间间隔期间设定点在N个时刻处的N个值与(ii)时间间隔中的第二时间间隔期间输出参数在N个时刻处的N个测量值之间的N个差而分别生成N个调节值。 | ||
搜索关键词: | 自适应 周期 波形 控制器 | ||
【主权项】:
1.一种功率输出系统,包括:生成器,所述生成器输出在连续时间间隔期间重复的预定模式;控制器,所述控制器接收改变所述预定模式的设定点和所述预定模式的电参数的测量值,所述电参数的所述测量值在所述连续时间间隔的当前时间间隔之前的时间间隔期间获取;其中所述控制器根据所述设定点和所述电参数的所述测量值来确定所述生成器的控制信号。
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