[发明专利]自适应周期波形控制器有效
| 申请号： | 201910501067.6 | 申请日： | 2015-12-02 |
| 公开（公告）号： | CN110299277B | 公开（公告）日： | 2021-12-31 |
| 发明（设计）人： | 拉里·J·菲斯克二世;亚伦·T·瑞多姆斯基;乔纳森·斯米卡 | 申请（专利权）人： | MKS仪器有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京德琦知识产权代理有限公司 11018 | 代理人： | 梁洪源;康泉 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 自适应 周期 波形 控制器 | ||
1.一种功率输出系统，包括：
生成器，所述生成器输出在连续时间间隔期间重复的预定模式；
控制器，所述控制器接收改变所述预定模式的设定点和所述预定模式的电参数的测量值，所述电参数的所述测量值在所述连续时间间隔的当前时间间隔之前的时间间隔期间获取；
其中所述控制器根据所述设定点和所述电参数的所述测量值来确定所述生成器的控制信号。
2.根据权利要求1所述的功率输出系统，其中所述设定点限定所述预定模式的至少一个电特性，并且所述电参数指示所述电特性的所述测量值。
3.根据权利要求1所述的功率输出系统，其中所述预定模式相对于时间而改变。
4.根据权利要求1所述的功率输出系统，进一步包括RF功率模块，所述RF功率模块接收多个输入，并且改变多个输出以改变所述预定模式。
5.根据权利要求4所述的功率输出系统，其中所述多个输出根据所述多个输入与所述多个输出之间的关系来确定。
6.根据权利要求5所述的功率输出系统，其中所述多个输入与所述多个输出在同一时间间隔内发生。
7.根据权利要求6所述的功率输出系统，其中所述多个输出作为所述多个输入在前一时间间隔内发生。
8.根据权利要求5所述的功率输出系统，其中所述多个输出作为所述多个输入在前一时间间隔内发生。
9.根据权利要求1所述的功率输出系统，其中所述设定点确定电压、电流和功率中的一个。
10.一种功率生成系统，包括：控制器，所述控制器接收改变由功率生成器输出的预定模式的设定点，所述控制器还接收电参数的测量值，其中所述电参数的所述测量值在连续时间间隔的当前时间间隔之前的时间间隔期间获取，其中所述控制器根据所述设定点和所述电参数的所述测量值来确定控制信号，以控制所述预定模式。
11.根据权利要求10所述的功率生成系统，其中所述设定点限定所述预定模式的至少一个电特性，并且所述电参数指示所述电特性的所述测量值。
12.根据权利要求10所述的功率生成系统，其中所述预定模式相对于时间而改变。
13.根据权利要求10所述的功率生成系统，其中所述控制器生成到RF功率模块的控制信号，所述RF功率模块还接收第二输入以限定多个输入，所述RF功率模块改变多个输出以改变所述预定模式。
14.根据权利要求13所述的功率生成系统，其中所述多个输出根据所述控制信号与所述多个输入之间的关系来确定。
15.根据权利要求14所述的功率生成系统，其中所述多个输出与所述多个输入在同一时间间隔内发生。
16.根据权利要求15所述的功率生成系统，其中所述多个输出作为所述多个输入在前一时间间隔内发生。
17.根据权利要求14所述的功率生成系统，其中所述多个输出作为所述多个输入在前一时间间隔内发生。
18.根据权利要求10所述的功率生成系统，其中所述设定点确定电压、电流和功率中的一个。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于MKS仪器有限公司，未经MKS仪器有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910501067.6/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
