[发明专利]压印方法、压印装置和器件制造方法有效
| 申请号： | 201910498821.5 | 申请日： | 2014-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110083009B | 公开（公告）日： | 2022-09-27 |
| 发明（设计）人： | 佐藤浩司;樋浦充 | 申请（专利权）人： | 佳能株式会社 |
| 主分类号： | G03F7/00 | 分类号： | G03F7/00;G03F7/20;G03F9/00 |
| 代理公司： | 中国贸促会专利商标事务所有限公司 11038 | 代理人： | 曾琳 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本公开涉及压印方法、压印装置和器件制造方法。本公开的压印方法包括：在其上形成有包括基板上标记的图案的基板上供给压印材料；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料；并且形成包括压印材料上标记的图案，其特征在于，使用被配置为形成压印材料上标记的图像和基板上标记的图像的光学系统来在增大了基板与模具之间的空间之后检测压印材料上标记和基板上标记，直到模具上标记位于光学系统的焦深之外为止，从而获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。 | ||
| 搜索关键词： | 压印 方法 装置 器件 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压印方法，包括：在具有压射区域的基板上供给压印材料，压射区域包括在压射区域上形成的具有基板上标记的图案；使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；以及通过在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料并且增大基板和模具之间的空间，来形成包括通过将模具上标记转印到压印材料而形成的压印材料标记的图案，其中，在增大基板和模具之间的空间之后，在与模具的图案平面平行的方向上改变基板和模具的相对位置，使得基板上标记和模具上标记不重合，然后通过使用穿过了模具并被光学系统引导到传感器上的来自压印材料标记的光和来自基板上标记的光，来获得基板上的图案和压印材料上的图案之间的相位位置偏差。
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