[发明专利]压印方法、压印装置和器件制造方法

权利要求书

1.一种压印方法，包括：

在具有压射区域的基板上供给压印材料，压射区域包括在压射区域上形成的具有基板上标记的图案；

使具有包括模具上标记的图案的模具与压印材料接触；以及

通过在模具与压印材料接触的状态下固化压印材料并且增大基板和模具之间的空间，来形成包括通过将模具上标记转印到压印材料而形成的压印材料标记的图案，

其中，在增大基板和模具之间的空间之后，在与模具的图案平面平行的方向上改变基板和模具的相对位置，使得基板上标记和模具上标记不重叠，然后通过检测压印材料标记和基板上标记，来测量基板上的压射区域和形成在压印材料上的图案之间的相位位置偏差。

2.根据权利要求1所述的压印方法，其中

在增大了基板和模具之间的空间之后，在与所述图案平面平行的方向上移动模具，然后检测来自压印材料标记的光和来自基板上标记的光。

3.根据权利要求1所述的压印方法，其中

在增大了基板和模具之间的空间之后，在与所述图案平面平行的方向上移动基板，然后检测来自压印材料标记的光和来自基板上标记的光。

4.根据权利要求1所述的压印方法，其中

在基板上布置多个压射区域，

对于每个压射区域在使模具与压印材料接触时执行了模具与基板之间的对准之后执行固化压印材料和形成图案，以及

当通过获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差来在所述多个压射区域中按顺序形成图案时，在前一压射区域中获得的基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差被用于后一压射区域中的模具与基板之间的对准。

5.根据权利要求4所述的压印方法，其中

当在前一压射区域中获得的基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差不在容许范围内时，停止后一压射区域中的图案的形成。

6.根据权利要求1所述的压印方法，其中

当通过下述方式按顺序在多个基板上形成图案时，针对前一基板获得的基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差被用于针对后一基板的模具与基板之间的对准：在使模具与压印材料接触时执行模具与基板之间的对准，执行固化压印材料和形成图案，然后获得基板上的图案与压印材料上的图案之间的相对位置偏差。

7.根据权利要求1所述的压印方法，其中，在与所述图案平面平行的方向上改变基板和模具的相对位置的操作是在基板上标记位于所述光学系统的焦深内的状态下执行的。

8.一种制造产品的方法，所述方法包括：

通过使用根据权利要求1至7中任一项所述的压印方法在基板上形成压印材料的图案；

对在所述形成时形成有所述图案的基板进行处理；以及

从在所述处理时处理了的基板制造产品。