[发明专利]支撑装置及检测设备有效
| 申请号： | 201910493117.0 | 申请日： | 2019-06-06 |
| 公开（公告）号： | CN110182715B | 公开（公告）日： | 2021-12-24 |
| 发明（设计）人： | 陈鲁;庞芝亮;黄有为 | 申请（专利权）人： | 深圳中科飞测科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B66F7/12 | 分类号： | B66F7/12;B66F7/14;B66F7/28;H01L21/677 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 518109 广东省深圳市龙华区大浪街*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种支撑装置及检测设备，所述升降机构包括：卡盘，其上设有通孔；升降架组件，包括支撑架及位于支撑架的多个支撑件，所述支撑件穿入所述卡盘的通孔中；驱动装置，包括驱动部件和传动部件，所述驱动部件用于产生动力，所述传动部件用于将所述动力传递至升降架组件；所述驱动部件的动力输出轴与所述升降架组件的运动方向之间具有夹角。该支撑装置的升降机构结构紧凑、纵向尺寸较小，十分有利于空间布局以及与其它设备相衔接或配合。 | ||
| 搜索关键词： | 支撑 装置 检测 设备 | ||
【主权项】：
1.升降机构，其特征在于，包括：卡盘，包括支撑面、与所述支撑面相对的背面和通孔，所述通孔自所述支撑面贯穿至背面；升降架组件，包括支撑架及位于支撑架的多个支撑件，所述支撑架用于带动所述支撑件运动；所述支撑件用于支撑样品，并带动样品升降；所述支撑件包括相对的第一端和第二端，所述第二端与所述支撑架连接，所述第一端穿入所述通孔中；驱动装置，包括驱动部件和传动部件，所述驱动部件用于产生动力，所述传动部件用于将所述动力传递至升降架组件；所述驱动部件的动力输出轴与所述升降架组件的运动方向之间具有夹角。
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