[发明专利]支撑装置及检测设备

权利要求书

1.支撑装置，其特征在于，包括升降机构，所述升降机构包括：

卡盘，用于支撑OLED基板，包括支撑面、与所述支撑面相对的背面和通孔，所述通孔自所述支撑面贯穿至背面；

升降架组件，包括支撑架及位于支撑架的多个支撑件，所述支撑架用于带动所述支撑件运动；所述支撑件用于支撑样品，并带动样品升降；所述支撑件包括相对的第一端和第二端，所述第二端与所述支撑架连接，所述第一端穿入所述通孔中；

驱动装置，包括驱动部件和传动部件，所述驱动部件用于产生动力，所述传动部件用于将所述动力传递至升降架组件；所述驱动部件的动力输出轴与所述升降架组件的运动方向之间具有夹角；

其中，传动部件为包括丝杠和升降滑台，升降架组件通过支撑架安装于所述升降滑台，所述升降滑台，传动部件还被配置为使所述丝杠旋转运动转化为所述升降滑台的直线运动；

还包括用于带动所述升降机构平移或/和旋转的运动台，所述运动台包括台面，所述升降机构位于所述台面表面；

所述运动台包括：第一平移台，用于带动升降机构沿第一方向移动，所述第一方向垂直于所述支撑件的运动方向；和/或，

所述运动台包括：第一旋转台，用于带动升降机构绕旋转轴旋转，所述旋转轴平行于所述支撑件的运动方向。

2.根据权利要求1所述的支撑装置，其特征在于，所述驱动部件的动力输出轴垂直于所述支撑架的移动方向，所述传动部件用于将所述驱动部件输出的旋转运动转换为竖向直线运动以带动所述支撑架移动。

3.根据权利要求2所述的支撑装置，其特征在于，所述传动部件为涡轮丝杠升降组件，包括涡轮传动机构和丝杠螺母传动机构；

所述涡轮传动机构包括涡轮以及与所述涡轮相配合并由所述驱动部件驱动的蜗杆；

所述丝杠螺母传动机构包括沿竖向方向设置的丝杠、以及用于带动所述支撑架运动的升降部件，所述升降部件设有螺母并通过所述螺母与所述丝杠相配合；所述丝杠同轴连接于所述涡轮，所述蜗杆的中心轴线垂直于所述丝杠的中心轴线。

4.根据权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述涡轮丝杠升降组件的组数为多组，其中，多组所述涡轮丝杠升降组件的蜗杆之间设有中间轴，所述中间轴用于在多组涡轮丝杠升降组件之间传递动力；所述驱动部件与所述中间轴传动连接。

5.根据权利要求4所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑架上设有对应于所述涡轮丝杠升降组件的孔位，所述涡轮丝杠升降组件从所述孔位穿过所述支撑架。

6.根据权利要求3所述的支撑装置，其特征在于，所述升降部件位于所述支撑架远离所述卡盘的一侧，所述升降部件设有承载面，所述承载面与所述支撑架接触。

7.根据权利要求3至6中任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述丝杠螺母传动机构设有升降基座，所述升降基座上设有滑轨，所述滑轨沿所述支撑架运动方向延伸，所述升降部件上设有滑块，所述滑块与所述滑轨滑动连接。

8.根据权利要求7所述的支撑装置，其特征在于，所述升降部件上设有挡片，所述升降基座上设有能够由所述挡片在上限位置触发的上限位开关和能够由所述挡片在下限位置触发的下限位开关。

9.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑装置，其特征在于，还包括基座，所述支撑架位于基座和卡盘之间；

所述基座与卡盘之间设有若干连接柱，所述支撑架上设有让位孔，所述连接柱穿过所述让位孔。

10.根据权利要求9所述的支撑装置，其特征在于，所述传动部件位于所述卡盘和支撑架之间的空间中；或者，所述传动部件位于所述卡盘和基座之间的空间中。

11.根据权利要求1至6中任一项所述的支撑装置，其特征在于，所述支撑面的长度大于或等于1500mm；所述支撑面的宽度大于或等于1000mm。