[发明专利]支撑装置及检测设备

说明书

本发明公开了一种支撑装置及检测设备，所述升降机构包括：卡盘，其上设有通孔；升降架组件，包括支撑架及位于支撑架的多个支撑件，所述支撑件穿入所述卡盘的通孔中；驱动装置，包括驱动部件和传动部件，所述驱动部件用于产生动力，所述传动部件用于将所述动力传递至升降架组件；所述驱动部件的动力输出轴与所述升降架组件的运动方向之间具有夹角。该支撑装置的升降机构结构紧凑、纵向尺寸较小，十分有利于空间布局以及与其它设备相衔接或配合。

技术领域

本发明涉及载运技术领域，尤其是在样品生产或检测过程中用于对样品进行升降操作的升降机构。本发明还涉及设有所述升降机构的支撑装置和检测设备。

背景技术

OLED，即有机发光二极管(Organic Light-Emitting Diode)，又称为有机电激光显示(Organic Electroluminesence Display,OELD)。由于具备厚度小、重量轻、抗震性能更好、可视角度大、响应时间短、发光效率更高、能够在不同材质的基板上制造、可以做成能弯曲的柔软显示器等优点，已经在许多行业的显示设备上得到了广泛应用。

目前，在OLED基板生产和检测领域，随着面板生产工艺的改进，检测精度要求越来越高，提升机构作为工艺腔室或者检测腔室和机械手之间的传送媒介，对其运动稳定性、一致性和运动精度的要求越来越高，特别是在OLED基板检测领域。

现有升降机构大都采用单一的气缸或液压缸进行驱动，虽然可以直接进行垂直升降，但是，由于气缸或液压缸垂向布置在固定板下方，升降机构的纵向尺寸L为固定板到顶部设备的距离L1加气缸或液压缸本身的长度L2，即L＝L1+L2，过长的纵向尺寸导致升降机构的结构不够紧凑，不利于空间布局以及与其它设备相衔接或配合。

此外，气缸或液压缸的控制平台上下移动量的精度相对较低，在顶杆数量较多的情况下，单一的气缸或液压缸难以将作用力均匀的传递至所有的顶杆，如果增设气缸或液压缸，则又会出现多个气缸或液压缸难以同步运行的问题。

再有，驱动机构的负载较大，在负载较大的情况下，升降机构的运动惯量必然较大，导致平台在承载OLED基板之后运动的稳定性、一致性和精度变差，越来越难以满足高精度生产和检测的要求。

发明内容

本发明的目的在于提供一种支撑装置。该支撑装置的升降机构结构紧凑、纵向尺寸较小，十分有利于空间布局以及与其它设备相衔接或配合。

本发明的另一目的是提供一种设有所述支撑装置的检测设备。

为实现上述目的，本发明提供一种支撑装置，包括升降机构，所述升降机构包括：

卡盘，包括支撑面、与所述支撑面相对的背面和通孔，所述通孔自所述支撑面贯穿至背面；

升降架组件，包括支撑架及位于支撑架的多个支撑件，所述支撑架用于带动所述支撑件运动；所述支撑件用于支撑样品，并带动样品升降；所述支撑件包括相对的第一端和第二端，所述第二端与所述支撑架连接，所述第一端穿入所述通孔中；

驱动装置，包括驱动部件和传动部件，所述驱动部件用于产生动力，所述传动部件用于将所述动力传递至升降架组件；所述驱动部件的动力输出轴与所述升降架组件的运动方向之间具有夹角。

还包括用于带动所述升降机构平移或/和旋转的运动台，所述运动台包括台面，所述升降机构位于所述台面表面；

所述运动台包括：第一平移台，用于带动升降机构沿第一方向移动，所述第一方向垂直于所述支撑件的运动方向；和/或，

所述运动台包括：第一旋转台，用于带动升降机构绕旋转轴旋转，所述旋转轴平行于所述支撑件的运动方向。

优选地，所述驱动部件的动力输出轴垂直于所述支撑架的移动方向，所述传动部件用于将所述驱动部件输出的旋转运动转换为竖向直线运动以带动所述支撑架移动。