[发明专利]可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备在审
申请号: | 201910482862.5 | 申请日: | 2019-06-04 |
公开(公告)号: | CN110116962A | 公开(公告)日: | 2019-08-13 |
发明(设计)人: | 邓金生;周宏业;黎佐兴;李时俊 | 申请(专利权)人: | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
主分类号: | B66C1/22 | 分类号: | B66C1/22;C23C16/50 |
代理公司: | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人: | 尹彦;胡朝阳 |
地址: | 518000 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备,具体包括安装板,多个间隔设置在安装板底部的吊爪,每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。本发明通过设置多个吊爪,实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装,成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率,大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间,提高了太阳能电池片整体生产效率。 | ||
搜索关键词: | 石墨舟 吊装 吊爪 吊装结构 安装板 自动化 太阳能电池片 整体生产效率 间隔设置 工艺段 固定的 减小 配合 | ||
【主权项】:
1.一种石墨舟吊装结构,其特征在于,包括安装板(2),多个间隔设置在安装板底部的吊爪(1),每个所述石墨舟(3)上设有配合相邻两个吊爪(1)进行固定的吊装位。
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