[发明专利]可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备在审
| 申请号： | 201910482862.5 | 申请日： | 2019-06-04 |
| 公开（公告）号： | CN110116962A | 公开（公告）日： | 2019-08-13 |
| 发明（设计）人： | 邓金生;周宏业;黎佐兴;李时俊 | 申请（专利权）人： | 深圳市捷佳伟创新能源装备股份有限公司 |
| 主分类号： | B66C1/22 | 分类号： | B66C1/22;C23C16/50 |
| 代理公司： | 深圳市康弘知识产权代理有限公司 44247 | 代理人： | 尹彦;胡朝阳 |
| 地址： | 518000 广东省深圳*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 石墨舟 吊装 吊爪 吊装结构 安装板 自动化 太阳能电池片 整体生产效率 间隔设置 工艺段 固定的 减小 配合 | ||
【权利要求书】：
1.一种石墨舟吊装结构，其特征在于，包括安装板（2），多个间隔设置在安装板底部的吊爪（1），每个所述石墨舟（3）上设有配合相邻两个吊爪（1）进行固定的吊装位。
2.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊装位为贯穿石墨舟两侧的凹槽（31），所述吊爪上的爪钩部（11）可随安装板移动插入所述凹槽内。
3.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括气缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。
4.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括电缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。
5.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述吊爪（1）包括通过电机带动丝杆和通过丝杆带动对应吊装位的顶紧件。
6.如权利要求1所述的石墨舟吊装结构，其特征在于，所述安装板（2）的底部设有滑槽，所述吊爪可通过电机驱动沿滑槽移动。
7.一种可吊装多个石墨舟的PECVD设备，其特征在于，使用权利要求1至6任一项所述的石墨舟吊装结构。
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