[发明专利]可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备

说明书

本发明公开了一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备，具体包括安装板，多个间隔设置在安装板底部的吊爪，每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。本发明通过设置多个吊爪，实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

技术领域

本发明涉及太阳能工艺设备领域，特别是涉及一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备。

背景技术

随着时间的推移，化石能源的稀缺性越来越明显。在化石能源供应日趋紧张的背景下，太阳能作为人类取之不尽用之不竭的可再生能源，其特有的充分清洁性，绝对安全性，相对的广泛性，在长期的能源战略中具有重要的影响地位。石墨舟作为太阳能电池片生产过程中的PECVD工艺前后存放的重要载体，其具有硅片存放容积大，减小人工与硅片的接触污染、大幅度增加取放片的稳定性等特点，被业界公认为光伏制造行业的重点设备。

太阳能电池片在生产过程不同工艺段设备的切换过程中，作为太阳能电池片载体的石墨舟，须对石墨舟进行自动化设备的工位（位置）吊装，传统石墨舟在自动化及工艺设备中对接存在石墨舟在传统自动化吊装方式上存在单一吊装（即一次吊装只能吊装一具石墨舟）。

发明内容

本发明为了解决上述现有技术中的石墨舟在传统自动化吊装方式上存在单一吊装的技术问题，提出一种可吊装多个石墨舟的石墨舟吊装结构及PECVD设备。

本发明采用的技术方案是：

本发明提出了一种石墨舟吊装结构，包括安装板，多个间隔设置在安装板底部的吊爪，每个所述石墨舟上设有配合相邻两个吊爪进行固定的吊装位。

优选地，所述吊装位为贯穿石墨舟两侧的凹槽，所述吊爪上的爪钩部可随安装板移动插入所述凹槽内。

优选地，所述吊爪包括气缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述吊爪包括电缸和通过电缸带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述吊爪包括通过电机带动丝杆和通过丝杆带动对应吊装位的顶紧件。

优选地，所述安装板的底部设有滑槽，所述吊爪可通过电机驱动沿滑槽移动。

本发明还提出一种可吊装多个石墨舟的PECVD设备，使用上述的石墨舟吊装结构。

与现有技术比较，本发明通过设置多个吊爪，实现了自动化单次对两个石墨舟或多石墨舟的同步吊装，成倍提高对石墨舟自动化吊装的效率，大大减小石墨舟在各工艺段吊装过程中时间，提高了太阳能电池片整体生产效率。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明的一实施例的结构示意图。

具体实施方式

为了使本发明所要解决的技术问题、技术方案及有益效果更加清楚明白，以下结合附图及实施例，对本发明进行进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本发明，并不用于限定本发明。

需要说明的是，当元件被称为“固定于”或“设置于”另一个元件，它可以直接在另一个元件上或者间接在该另一个元件上。当一个元件被称为是“连接于”另一个元件，它可以是直接连接到另一个元件或间接连接至该另一个元件上。