[发明专利]一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法

摘要

本发明涉及一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，包括以下步骤：对衬底进行预处理；在预处理的衬底表面磁控溅射电子传输层，之后继续采用磁控溅射设备使用铯锡合金靶，获得全无机钙钛矿材料；在钙钛矿材料层上磁控溅射太阳能电池空穴传输层；烘干，完成阴极金属电极的沉积，得到全无机钙钛矿太阳能电池。优点是：采用臭氧清洗与磁控溅射氩离子清洗相结合，进一步确保材料表面光洁度。钙钛矿吸收层采用磁控溅射方法，通入碘蒸气，与铯锡等金属离子充分接触，形成具有良好的表面形貌，形成大晶粒和无孔洞的钙钛矿薄膜。

主权项

1.一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，包括以下步骤：1)对衬底进行预处理；2)在预处理的衬底表面磁控溅射电子传输层，之后继续采用磁控溅射设备使用铯锡合金靶，将覆有电子传输层的衬底置于靶材正上方，通入碘蒸气至衬底，完成化学反应，获得全无机钙钛矿材料；3)在钙钛矿材料层上磁控溅射太阳能电池空穴传输层；4)将步骤1)～步骤3)制备的器件烘干，完成阴极金属电极的沉积，得到全无机钙钛矿太阳能电池。