[发明专利]一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法

权利要求书

1.一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，该全无机钙钛矿太阳能电池依次由衬底；ZnO致密层，即电子传输层；钙钛矿CsSnI₃层；CuI空穴传输层；金属金电极组成，包括以下步骤：

1）对衬底进行预处理；

2）在预处理的衬底表面磁控溅射电子传输层，之后继续采用磁控溅射设备使用铯锡合金靶，将覆有电子传输层的衬底置于靶材正上方，通入碘蒸气至衬底，完成化学反应，获得全无机钙钛矿材料层；

镀钙钛矿材料层前抽真空至本底真空度3×10^-3-5×10^-3Pa，随后依次充入高纯氩气、碘蒸气，工作压强0.2-0.5Pa；射频溅射功率为100-150W，靶距10-15cm，Ar通量为8-12sccm，I₂通量为5-10sccm，溅射1-2h；

铯锡合金靶的铯锡原子比为1：1；

3）在钙钛矿材料层上磁控溅射太阳能电池空穴传输层；

4）将步骤 1）~步骤 3）制备的器件烘干，完成阴极金属电极的沉积，得到全无机钙钛矿太阳能电池。

2.根据权利要求1所述的一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，步骤1）中所述的衬底为导电玻璃，预处理方法为：首先使用玻璃清洗液清洗导电玻璃；然后将导电玻璃依次浸入丙酮、乙醇溶液和去离子水溶液中进行超声清洗处理；然后将导电玻璃放入臭氧清洗机干燥处理，最后将衬底置于磁控溅射设备中，采用氩离子轰击清洗。

3.根据权利要求2所述的一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，所述的导电玻璃为FTO或ITO导电玻璃。

4.根据权利要求1所述的一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，步骤2）中磁控溅射电子传输层的方法为：将预处理后的衬底置于射频磁控溅射真空腔内，镀电子传输层前真空腔抽真空至3×10^-3-5×10^-3Pa；随后充入高纯氩气，工作压强0.2-0.5Pa；射频溅射功率为100-150W，靶距10-15cm，Ar通量为8-10sccm，溅射0.5-1h。

5. 根据权利要求 1 所述的一种制备全无机钙钛矿太阳能电池的磁控溅射方法，其特征在于，步骤 4）中将器件放置在臭氧清洗机中干燥，然后使用电阻蒸发镀膜设备蒸镀金金属电极，完成阴极金属电极的沉积。