[发明专利]一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机在审
| 申请号： | 201910449108.1 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110295351A | 公开（公告）日： | 2019-10-01 |
| 发明（设计）人： | 李志荣;李志方;潘锐华;陈思 | 申请（专利权）人： | 东莞市汇成真空科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人： | 赖智威;周克佑 |
| 地址： | 523820 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室、靶体、靶腔、伸缩机构、靶门及翻转启闭机构，通过循环流经靶体的液体实现对靶体的降温，靶腔设置在真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与真空镀膜室连通；伸缩机构安装在靶腔的壁板上；靶体安装在伸缩机构上，并位于靶腔内；由伸缩机构带动靶体向腔口方向移动，或收缩回靶腔内；靶门通过翻转启闭机构安装在腔口处，通过翻转启闭机构带动靶门翻转，通过翻转的靶门密封盖合腔口或打开腔口。本发明能保证使用过程中靶材始终不会与水汽接触。 | ||
| 搜索关键词： | 靶体 翻转 靶腔 伸缩机构 腔口 真空镀膜室 启闭机构 镀膜机 翻转式 隔离 壁板 方向移动 水汽接触 门密封 腔口处 靶材 对靶 盖合 连通 收缩 保证 | ||
【主权项】：
1.一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；靶门及翻转启闭机构，所述靶门通过所述翻转启闭机构安装在所述腔口处，通过所述翻转启闭机构带动所述靶门翻转，通过翻转的所述靶门密封盖合所述腔口或打开所述腔口。
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