[发明专利]一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机

权利要求书

1.一种通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，包括真空镀膜室和靶体，通过循环流经所述靶体的液体实现对所述靶体的降温，其特征在于：还包括：

靶腔，设置在所述真空镀膜室的底部或顶部或侧部，通过腔口直接与所述真空镀膜室连通；

伸缩机构，安装在所述靶腔的壁板上；所述靶体安装在所述伸缩机构上，并位于所述靶腔内；由所述伸缩机构带动所述靶体向所述腔口方向移动，或收缩回所述靶腔内；

靶门及翻转启闭机构，所述靶门通过所述翻转启闭机构安装在所述腔口处，通过所述翻转启闭机构带动所述靶门翻转，通过翻转的所述靶门密封盖合所述腔口或打开所述腔口。

2.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：循环流经所述靶体用于降温的液体为硅油。

3.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶腔的壁板上设有用于对所述靶腔进行抽真空的抽气口。

4.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述翻转启闭机构包括旋转机构、第一动密封组件和旋转轴，旋转轴可转动支承在所述腔口的侧旁，所述靶门的与所述旋转轴对应的侧边与所述旋转轴固定连接，旋转机构安装在所述真空镀膜室外部，所述旋转机构的输出轴通过所述第一动密封组件与所述旋转轴连接，通过所述第一动密封组件实现密封。

5.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：在所述靶门上对应所述腔口的沿边设有靶门密封圈，在所述腔口的周边设有一圈围边；当所述靶门密封盖在所述腔口处时，所述靶门密封圈压在所述靶门与所述腔口的沿边之间，所述围边围绕在所述靶门的外围。

6.根据权利要求4所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述旋转机构为旋转式气缸，所述第一动密封组件为磁流体密封传动装置，所述磁流体密封传动装置通过真空密封圈密封安装在所述真空镀膜室的壁板的外表面上，所述旋转式气缸的输出轴与所述磁流体密封传动装置的主轴的输入端连接，所述磁流体密封传动装置的主轴的输出端穿入所述真空镀膜室，并与所述旋转轴连接。

7.根据权利要求1所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述伸缩机构包括直线运动机构、滑动套管、连接板和第二动密封组件，所述滑动套管活动穿过所述靶腔的壁板，通过所述第二动密封组件密封，所述靶体固定安装在所述滑动套管的里端，所述直线运动机构安装在所述靶腔的壁板的外表面，所述连接板连接所述直线运动机构的活动端和所述滑动套管的外端。

8.根据权利要求7所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体内设有液体流道，在所述滑动套管内设有出液管和进液管，所述出液管和进液管与所述滑动套管之间绝缘，所述出液管和进液管的里端分别与所述液体流道的出液口和进液口连接，所述出液管和进液管的外端分别从所述滑动套管的外端穿出。

9.根据权利要求8所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述靶体包括靶材、铜板、极靴、隔水胶皮、靶座和若干磁铁，在所述靶座的面向真空镀膜室的表面设有安装槽，所述隔水胶皮平贴在所述安装槽的底面，所述极靴设置在所述隔水胶皮的表面，所述铜板密封盖在所述安装槽的槽口处，所述磁铁分布在所述铜板与所述极靴之间，所述靶材平贴固定在所述铜板的外表面上；在所述铜板与所述极靴之间形成所述液体流道，在所述靶体上还设有与所述液体流道连通的出液通道和进液通道，所述出液通道和进液通道的外端即为所述出液口和进液口。

10.根据权利要求9所述的通过翻转式靶门隔离靶体的镀膜机，其特征在于：所述镀膜机还包括靶体固定板，所述靶体固定板固定在所述滑动套管的里端，所述靶座通过绝缘固定组件固定在所述靶体固定板上，所述靶座与所述靶体固定板之间留有间隔。