[发明专利]缺陷判定方法及缺陷判定装置有效
| 申请号： | 201910445000.5 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN110146513B | 公开（公告）日： | 2021-07-06 |
| 发明（设计）人： | 雷朋 | 申请（专利权）人： | TCL华星光电技术有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/88 | 分类号： | G01N21/88 |
| 代理公司： | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人： | 黄威 |
| 地址： | 518132 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种缺陷判定方法及缺陷判定装置，可进行在线实时缺陷判定。所述缺陷判定方法和判定装置，相较于现有技术，设置了较多的判定缺陷的数据维度，可对缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸和缺陷像素等缺陷数据进行准确识别；在缺陷判定过程中自动套用第一数据规则表和第二数据规则表，将所述缺陷数据划分为不同的等级，进而对不同等级的缺陷执行与所述等级相应的操作；提高了缺陷判定的准确度和自动化程度，减少了缺陷判定过程中的人工参与，降低了漏判和误判的风险。 | ||
| 搜索关键词： | 缺陷 判定 方法 装置 | ||
【主权项】：
1.一种缺陷判定方法，其特征在于，包括以下步骤：获取样品的缺陷图片；通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据；判定所述缺陷数据的置信度；设定置信度阈值；将所述缺陷数据的置信度高于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第一数据，将所述缺陷数据的置信度低于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第二数据，利用第一数据规则表将所述第一数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级，利用数据复检单元将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级；利用第二数据规则表将等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级；根据所述第一数据和所述第二数据的等级，将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作。
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