[发明专利]缺陷判定方法及缺陷判定装置有效

专利信息
申请号: 201910445000.5 申请日: 2019-05-27
公开(公告)号: CN110146513B 公开(公告)日: 2021-07-06
发明(设计)人: 雷朋 申请(专利权)人: TCL华星光电技术有限公司
主分类号: G01N21/88 分类号: G01N21/88
代理公司: 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 代理人: 黄威
地址: 518132 广东*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 缺陷 判定 方法 装置
【说明书】:

发明提供了一种缺陷判定方法及缺陷判定装置,可进行在线实时缺陷判定。所述缺陷判定方法和判定装置,相较于现有技术,设置了较多的判定缺陷的数据维度,可对缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸和缺陷像素等缺陷数据进行准确识别;在缺陷判定过程中自动套用第一数据规则表和第二数据规则表,将所述缺陷数据划分为不同的等级,进而对不同等级的缺陷执行与所述等级相应的操作;提高了缺陷判定的准确度和自动化程度,减少了缺陷判定过程中的人工参与,降低了漏判和误判的风险。

技术领域

本发明涉及显示面板制程领域,尤其涉及一种缺陷判定方法及缺陷判定装置。

背景技术

在显示面板制造过程中,为了实时监控产线的异常状况会引入AOI(AutomaticOptic Inspector/Inspection)设备,对显示面板制程中的缺陷进行实时拦截和判断。现有技术是通过AOI设备获取缺陷的图片后,将缺陷图片传送至人工操作端,由人工对显示面板缺陷进行判断,并进一步制定处理建议。但是人工判定缺陷受工作人员的经验影响,判定缺陷存在较大的主观性,并且不同的工作人员判定缺陷会以自己的工作经验为基础,难以形成一致的判定标准,缺陷的漏判和误判的风险较高。另外,现有的缺陷判定方法需要较多人力参与,造成生产效率低。

发明内容

基于上述现有技术存在的问题,本发明提供了一种缺陷判定方法和缺陷判定装置,可应用于在线实时缺陷检测和判定,且缺陷判定的准确度高、自动化程度高,减少缺陷判定过程中的人工参与,降低漏判和误判的风险。

本发明提供了一种缺陷判定方法,包括以下步骤:

获取样品的缺陷图片;

通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据;

判定所述缺陷数据的置信度;

设定置信度阈值;

将所述缺陷数据的置信度高于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第一数据,将所述缺陷数据的置信度低于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第二数据,利用第一数据规则表将所述第一数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级,利用数据复检单元将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级;

利用第二数据规则表将等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级;

根据所述第一数据和所述第二数据的等级,将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作。

根据本发明一实施例,所述获取样品的缺陷图片的方法为:

自动拍摄单元拍摄所述样品的缺陷区域的照片,得到所述样品的缺陷图片。

根据本发明一实施例,所述通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据的方法为:

自动计算单元分析所述缺陷图片,得到所述样品的缺陷数据,所述缺陷数据包括缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸及缺陷像素。

根据本发明一实施例,所述判定所述缺陷数据的置信度的方法为:

所述自动计算单元分析所述缺陷数据,输出所述缺陷数据的置信度。

根据本发明一实施例,所述设定置信度阈值的方法为:

人工设定所述置信度阈值。

根据本发明一实施例,所述利用第一数据规则表将所述第一数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的方法为:

缺陷识别单元将所述第一数据带入所述第一数据规则表,所述第一数据规则表包括“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的划分标准;

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