[发明专利]缺陷判定方法及缺陷判定装置

权利要求书

1.一种缺陷判定方法，其特征在于，包括以下步骤：

获取样品的缺陷图片；

通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据；

自动计算单元将所述缺陷图片的特征与缺陷数据库中的缺陷示图进行比对，确定所述缺陷图片与所述缺陷示图的匹配程度，并依据所述匹配程度对所述缺陷数据赋予置信度；

设定置信度阈值；

将所述缺陷数据的置信度高于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第一数据，将所述缺陷数据的置信度低于所述置信度阈值的所述缺陷数据定义为第二数据；

缺陷识别单元将所述第一数据带入所述第一数据规则表，所述第一数据规则表包括“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级的划分标准；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“合格”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“合格”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“修补”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“修补”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“重工”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“重工”等级；若所述第一数据与所述第一数据规则表的“报废”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述第一数据划分为“报废”等级；

所述数据复检单元将所述第二数据输出至人工操作端；所述人工操作端将所述第二数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级；

所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据带入所述第二数据规则表，所述第二数据规则表包括“次合格”和“次修补”两个等级的划分标准；若所述等级为“修补”的所述第一数据与所述第二数据规则表的“次合格”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据划分为“次合格”等级；若所述等级为“修补”的所述第一数据与所述第二数据规则表的“次修补”等级相匹配，所述缺陷识别单元将所述等级为“修补”的所述第一数据划分为“次修补”等级；

根据所述第一数据和所述第二数据的等级，将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作。

2.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述获取样品的缺陷图片的方法为：

自动拍摄单元拍摄所述样品的缺陷区域的照片，得到所述样品的缺陷图片。

3.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述通过所述缺陷图片获取所述样品的缺陷数据的方法为：

自动计算单元分析所述缺陷图片，得到所述样品的缺陷数据，所述缺陷数据包括缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸及缺陷像素。

4.根据权利要求3所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述设定置信度阈值的方法为：

人工设定所述置信度阈值。

5.根据权利要求1所述的缺陷判定方法，其特征在于，所述根据所述第一数据和所述第二数据的等级，将与所述第一数据和所述第二数据相对应的所述样品带入制造执行单元执行与所述等级相对应的操作的方法为：

当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“合格”或“次合格”时，所述制造执行单元忽略与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷；

当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“修补”或“次修补”时，所述制造执行单元对与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷执行修复操作；

当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“重工”时，所述制造执行单元将与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品执行重工操作；

当所述第一数据和/或所述第二数据的等级为“报废”时，所述制造执行单元对与所述第一数据和/或所述第二数据相对应的所述样品的缺陷执行报废操作。

6.一种缺陷判定装置，其特征在于，包括：

自动拍摄单元，用于拍摄样品的缺陷照片；

自动计算单元，用于根据所述缺陷照片计算缺陷数据及所述缺陷数据的置信度，所述缺陷数据包括缺陷种类、缺陷影响线路、缺陷尺寸和缺陷像素；

缺陷识别单元，包括第一数据规则表和第二数据规则表，所述缺陷识别单元根据所述第一数据规则表将置信度高于阈值的所述缺陷数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级，所述缺陷识别单元根据所述第二数据规则表将等级为“修补”的所述缺陷数据划分为“次合格”和“次修补”两个等级；

数据复检单元，用于将置信度低于阈值的所述缺陷数据进行复检，并将所述置信度低于阈值的所述缺陷数据划分为“合格”、“修补”、“重工”和“报废”四个等级；

制造执行单元，根据所述缺陷数据的等级，对与所述缺陷数据相对应的所述样品执行与所述等级相对应的操作。