[发明专利]一种高推力闭式气体静压转台

摘要

本发明属于超精密制造设备领域，具体涉及一种径向推力联合闭式气体静压转台，特别是涉及一种高推力闭式气体静压转台，包括气浮轴承定子、上止推板、工件转盘、径向轴承、外壳、下止推板、转子转轴、密封底板、阻尼器、节流器I和节流器II，所述气浮轴承定子固定连接在外壳内侧的上端；所述外壳的下端固定连接密封底板；所述径向轴承过盈配合连接在气浮轴承定子内；所述径向轴承的上下两端分别与上止推板和下止推板固定连接；所述上止推板的上端固定连接工件转盘；所述下止推板的下端固定连接转子转轴；本发明可以在提高气体静压转台承载能力的同时并保证一定刚度，满足高承载力精密制造装备的使用要求。

主权项

1.一种高推力闭式气体静压转台，包括气浮轴承定子(1)、上止推板(2)、工件转盘(3)、径向轴承(4)、外壳(5)、下止推板(6)、转子转轴(7)、密封底板(8)、阻尼器、节流器I和节流器II，其特征在于：所述气浮轴承定子(1)固定连接在外壳(5)内侧的上端；所述外壳(5)的下端固定连接密封底板(8)；所述径向轴承(4)过盈配合连接在气浮轴承定子(1)内；所述径向轴承(4)的上下两端分别与上止推板(2)和下止推板(6)固定连接；所述上止推板(2)的上端固定连接工件转盘(3)；所述下止推板(6)的下端固定连接转子转轴(7)；所述气浮轴承定子(1)的上表面沿圆周方向均匀分布多个节流孔(1‑4)和多个阻尼孔(1‑5)，阻尼孔(1‑5)位于节流孔(1‑4)的外侧；多个节流孔(1‑4)内分别固定连接一个节流器I，多个节流器I之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽I(1‑1)连通；多个阻尼孔(1‑5)内分别固定连接一个阻尼器，多个阻尼器之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽II(1‑2)连通；同一半径方向的节流器I和阻尼器之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽III(1‑3)连通；所述气浮轴承定子(1)的内环面上设有上下两排多个径向安装孔，多个径向安装孔内分别固定连接一个节流器II。