[发明专利]一种高推力闭式气体静压转台

权利要求书

1.一种高推力闭式气体静压转台，包括气浮轴承定子(1)、上止推板(2)、工件转盘(3)、径向轴承(4)、外壳(5)、下止推板(6)、转子转轴(7)、密封底板(8)、阻尼器、节流器I和节流器II，其特征在于：所述气浮轴承定子(1)固定连接在外壳(5)内侧的上端；所述外壳(5)的下端固定连接密封底板(8)；所述径向轴承(4)过盈配合连接在气浮轴承定子(1)内；所述径向轴承(4)的上下两端分别与上止推板(2)和下止推板(6)固定连接；所述上止推板(2)的上端固定连接工件转盘(3)；所述下止推板(6)的下端固定连接转子转轴(7)；所述气浮轴承定子(1)的上表面沿圆周方向均匀分布多个节流孔(1-4)和多个阻尼孔(1-5)，阻尼孔(1-5)位于节流孔(1-4)的外侧；多个节流孔(1-4)内分别固定连接一个节流器I，多个节流器I之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽I(1-1)连通；多个阻尼孔(1-5)内分别固定连接一个阻尼器，多个阻尼器之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽II(1-2)连通；同一半径方向的节流器I和阻尼器之间通过气浮轴承定子(1)上表面的微小沟槽III(1-3)连通；所述气浮轴承定子(1)的内环面上设有上下两排多个径向安装孔，多个径向安装孔内分别固定连接一个节流器II。

2.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述的一种高推力闭式气体静压转台还包括驱动模块和测量模块；所述驱动模块传动连接转子转轴(7)；所述测量模块固定连接在外壳(5)内侧的下端，转子转轴(7)位于测量模块的内侧。

3.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述气浮轴承定子(1)、上止推板(2)、径向轴承(4)、下止推板(6)、转子转轴(7)的中心线重合。

4.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述工件转盘(3)的上表面与上止推板(2)的中心线垂直设置。

5.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述上止推板(2)的直径大于下止推板(6)的直径。

6.根据权利要求2所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述驱动模块采用力矩电机。

7.根据权利要求2所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述测量模块采用圆光栅部件(9)。

8.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述节流器I沿气浮轴承定子(1)的轴向方向设置。

9.根据权利要求1所述的一种高推力闭式气体静压转台，其特征在于：所述节流器II沿气浮轴承定子(1)的径向方向设置。