[发明专利]一种高推力闭式气体静压转台

说明书

本发明属于超精密制造设备领域，具体涉及一种径向推力联合闭式气体静压转台，特别是涉及一种高推力闭式气体静压转台，包括气浮轴承定子、上止推板、工件转盘、径向轴承、外壳、下止推板、转子转轴、密封底板、阻尼器、节流器I和节流器II，所述气浮轴承定子固定连接在外壳内侧的上端；所述外壳的下端固定连接密封底板；所述径向轴承过盈配合连接在气浮轴承定子内；所述径向轴承的上下两端分别与上止推板和下止推板固定连接；所述上止推板的上端固定连接工件转盘；所述下止推板的下端固定连接转子转轴；本发明可以在提高气体静压转台承载能力的同时并保证一定刚度，满足高承载力精密制造装备的使用要求。

技术领域

本发明属于超精密制造设备领域，具体涉及一种径向推力联合闭式气体静压转台，特别是涉及一种高推力闭式气体静压转台。

背景技术

在超精密加工领域，测量仪器尤为重要。气体静压轴承因其高精度、无污染的特点而广泛应用于测量转台上。但由于气体的可压缩性，气体静压轴承的承载能力和刚度较低从而导致转台性能不能满足高精度大负载应用。

现有技术中的气体静压轴承存在以下问题：

(1)承载能力不足的问题，提高供气压力容易导致气锤自激振动而失去稳定性；

(2)提高气体静压轴承的承载能力时会损失较大刚度，从而会降低转台的精度的问题。

以上问题，导致了现有气体静压轴承技术还不能满足高承载力精密制造装备，例如航天模拟测试设备、圆度仪等的使用要求。

发明内容

本发明的目的是提供一种高推力闭式气体静压转台，可以有效解决现有技术中的问题，可以在提高气体静压转台承载能力的同时并保证一定刚度，满足高承载力精密制造装备的使用要求。

本发明的目的通过以下技术方案来实现：

一种高推力闭式气体静压转台，包括气浮轴承定子、上止推板、工件转盘、径向轴承、外壳、下止推板、转子转轴、密封底板、阻尼器、节流器I和节流器II，所述气浮轴承定子固定连接在外壳内侧的上端；所述外壳的下端固定连接密封底板；所述径向轴承过盈配合连接在气浮轴承定子内；所述径向轴承的上下两端分别与上止推板和下止推板固定连接；所述上止推板的上端固定连接工件转盘；所述下止推板的下端固定连接转子转轴；

所述气浮轴承定子、上止推板、下止推板、径向轴承、转子转轴均为圆环形状，工件转盘为圆形；上止推板、径向轴承和下止推板固定连接，保证三者中心线高度重合的同时还要调整好上止推板与下止推板的轴向距离，在装配时调整轴向距离，调整上止推板、径向轴承和下止推板之后再进行固定连接。工件转盘上表面与上止推板中心线垂直，转子转轴设置在下止推板的中心处且两者中心线重合。

所述气浮轴承定子的上表面沿圆周方向均匀分布多个节流孔和多个阻尼孔，阻尼孔位于节流孔的外侧；多个节流孔内分别固定连接一个节流器I，多个节流器I之间通过气浮轴承定子上表面沿圆周方向铣削出来的微小沟槽I连通；多个阻尼孔内分别固定连接一个阻尼器，多个阻尼器之间通过气浮轴承定子上表面沿圆周方向铣削出来的微小沟槽II连通；同一半径方向的节流器I和阻尼器之间通过气浮轴承定子上表面沿径向方向铣削出来的微小沟槽III连通；所述气浮轴承定子的内环面上设有上下两排多个径向安装孔，多个径向安装孔内分别固定连接一个节流器II。

压力气体通过气浮轴承定子上表面的节流器I和阻尼器进入上止推板和气浮轴承定子上表面的间隙形成上浮气体静压轴承止推气膜，由上止推板、气浮轴承定子上表面和气浮轴承定子上表面的节流器I及阻尼器组成上浮气体静压止推轴承。