[发明专利]一种芯片卡匣及晶圆清洗设备

摘要

本发明公开了一种芯片卡匣及晶圆清洗设备，所述卡匣包括：主体，所述主体具有容置腔，所述容置腔内侧壁上具备相互平行的多个容置缝隙，所述主体上设置有一个与所述容置腔相连通的进出口，所述主体上设置有弧形槽；以及拦阻结构，所述拦阻结构包括一端铰接在所述主体上的连接杆、与所述连接杆的另一端相固定连接的挡杆，所述挡杆上设置有相互平行的多个卡口，所述挡杆的一端移动设置在所述弧形槽内；其中，当所述挡杆移动至所述弧形槽的一端时，所述挡杆上的卡口配合所述容置缝隙固定所述芯片；当所述挡杆移动至所述弧形槽的另一端时，所述进出口能够放入或者取出所述芯片。本发明的有益效果为能够固定清洗酸中的芯片，防止芯片浮动。

主权项

1.一种芯片卡匣，其特征在于，所述卡匣包括：主体（1），所述主体（1）具有容置腔，所述容置腔内侧壁上具备相互平行的多个容置缝隙（161），所述主体（1）上设置有一个与所述容置腔相连通的进出口（11），所述主体（1）上设置有弧形槽（12）；以及拦阻结构（2），所述拦阻结构（2）包括一端铰接在所述主体（1）上的连接杆（21）、与所述连接杆（21）的另一端相固定连接的挡杆（22），所述挡杆（22）上设置有相互平行的多个卡口（221），所述挡杆（22）的一端移动设置在所述弧形槽（12）内；其中，当所述挡杆（22）移动至所述弧形槽（12）的一端时，所述挡杆（22）上的卡口（221）配合所述容置缝隙（161）固定所述芯片（3）；当所述挡杆（22）移动至所述弧形槽（12）的另一端时，所述进出口（11）能够放入或者取出所述芯片（3）。