[发明专利]一种芯片卡匣及晶圆清洗设备

权利要求书

1.一种芯片卡匣，其特征在于，所述卡匣包括：

主体（1），所述主体（1）具有容置腔，所述容置腔内侧壁上具备相互平行的多个容置缝隙（161），所述主体（1）上设置有一个与所述容置腔相连通的进出口（11），所述主体（1）上设置有弧形槽（12）；以及

拦阻结构（2），所述拦阻结构（2）包括一端铰接在所述主体（1）上的连接杆（21）、与所述连接杆（21）的另一端相固定连接的挡杆（22），所述挡杆（22）上设置有相互平行的多个卡口（221），所述挡杆（22）的一端移动设置在所述弧形槽（12）内；

其中，当所述挡杆（22）移动至所述弧形槽（12）的一端时，所述挡杆（22）上的卡口（221）配合所述容置缝隙（161）固定所述芯片（3）；当所述挡杆（22）移动至所述弧形槽（12）的另一端时，所述进出口（11）能够放入或者取出所述芯片（3）。

2.根据权利要求1所述的芯片卡匣，其特征在于，所述卡匣包括：

锁钩（4），所述锁钩（4）的一端为与所述挡杆（22）的杆身相配合的钩状，所述锁钩（4）的另一端铰接在所述主体（1）上；

其中，所述挡杆（22）上的卡口（221）配合所述容置缝隙（161）固定所述芯片（3）时，所述锁钩（4）能够钩住所述挡杆（22）。

3.根据权利要求1所述的芯片卡匣，其特征在于，所述主体（1）包括多个空腔，所述空腔与所述容置腔和外部空间相连通。

4.根据权利要求3所述的芯片卡匣，其特征在于，所述主体（1）包括位于上部的第一空腔（13）、位于下部的第二空腔（14）。

5.根据权利要求4所述的芯片卡匣，其特征在于，所述第一空腔（13）配合所述第二空腔（14）形成第一底部拖杆（16），所述第一底部拖杆（16）上设置朝向所述主体（1）中心的所述容置缝隙（161），所述第一空腔（13）与所述进出口（11）连通。

6.根据权利要求5所述的芯片卡匣，其特征在于，所述第二空腔（14）配合所述进出口（11）形成第二底部拖杆（17），所述第二底部拖杆（17）上设置朝向所述主体（1）中心的所述容置缝隙（161）。

7.根据权利要求6所述的芯片卡匣，其特征在于，最靠近所述容置腔侧壁的所述容置缝隙（161）与所述容置腔侧壁之间设置有第三空腔（15），用来供清洗液体流通。

8.根据权利要求1所述的芯片卡匣，其特征在于，所述卡匣整体无锐角和毛边。

9.根据权利要求1所述的芯片卡匣，其特征在于，所述主体（1）包括两侧的侧板（18），所述侧板（18）上均设置有所述弧形槽（12），所述挡杆（22）的两端分别穿过所述弧形槽（12）。

10.一种晶圆清洗设备，其特征在于，包括如权利要求1-9中任一所述的芯片卡匣。