[发明专利]直立式精密金属掩模板激光清洗系统

摘要

一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元均包括第一移动组件及第一导向组件，且侧面挡板中部对应第一移动组件开设有开口；清洁单元还包括激光供应组件、激光剥离组件、吹风组件及出风组件；清洗单元还包括冲洗组件；干燥单元还包括干燥模组；检测出料单元还包括设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件。如此能够自动移动并清洗精密金属掩模板，且剥离的有机材料不会重新落到精密金属掩模板上，提高了清洗效率及清洗效果，减少了有机溶剂的使用量，降低了成本。

主权项

1.一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元包括第一底座、第一顶盖、连接第一底座及第一顶盖的同一侧边的第一正面挡板、与第一正面挡板相对设置且连接于第一底座与第一顶盖之间的第一背面挡板、分别设置于第一正面挡板或第一背面挡板两侧的两个第一侧面挡板、设置于第一顶盖底面上的第一移动组件、设置于第一底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件，第一侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第一开口；清洁单元包括第二底座、第二顶盖、连接第二底座及第二顶盖的同一侧边的第二正面挡板、与第二正面挡板相对设置且连接于第二底座与第二顶盖之间的第二背面挡板、分别设置于第二正面挡板或第二背面挡板两侧的两个第二侧面挡板、设置于第二顶盖底面上的第一移动组件、设置于第二底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第二顶盖上的激光供应组件、设置于第二正面挡板的内侧的激光剥离组件、设置于第二顶盖上的两个吹风组件及设置于第二底座上的出风组件，第二侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第二开口；清洗单元包括第三底座、第三顶盖、连接第三底座及第三顶盖的同一侧边的第三正面挡板、与第三正面挡板相对设置且连接于第三底座与第三顶盖之间的第三背面挡板、分别设置于第三正面挡板或第三背面挡板两侧的两个第三侧面挡板、设置于第三顶盖底面上的第一移动组件、设置于第三底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第三顶盖上的两个冲洗组件，第三侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第三开口；干燥单元包括第四底座、第四顶盖、连接第四底座及第四顶盖的同一侧边的第四正面挡板、与第四正面挡板相对设置且连接于第四底座与第四顶盖之间的第四背面挡板、分别设置于第四正面挡板或第四背面挡板两侧的两个第四侧面挡板、设置于第四顶盖底面上的第一移动组件、设置于第四底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、两个分别设置于第一移动组件两侧的干燥模组，第四侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第四开口；检测出料单元包括第五底座、第五顶盖、连接第五底座及第五顶盖的同一侧边的第五正面挡板、与第五正面挡板相对设置且连接于第五底座与第五顶盖之间的第五背面挡板、分别设置于第五正面挡板或第五背面挡板两侧的两个第五侧面挡板、设置于第五顶盖底面上的第一移动组件、设置于第五底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件，第五侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第五开口。