[发明专利]直立式精密金属掩模板激光清洗系统

说明书

一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元均包括第一移动组件及第一导向组件，且侧面挡板中部对应第一移动组件开设有开口；清洁单元还包括激光供应组件、激光剥离组件、吹风组件及出风组件；清洗单元还包括冲洗组件；干燥单元还包括干燥模组；检测出料单元还包括设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件。如此能够自动移动并清洗精密金属掩模板，且剥离的有机材料不会重新落到精密金属掩模板上，提高了清洗效率及清洗效果，减少了有机溶剂的使用量，降低了成本。

技术领域

本发明涉及显示面板生产技术领域，特别是一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统。

背景技术

请参考图22，在有机发光二极管(OLED)显示面板的生产过程中，需要将发光有机材料蒸镀至玻璃面板200上，在蒸镀过程中，玻璃面板200在精密金属掩模板100的上方，有机材料蒸镀源300在精密金属掩模板100的下方。在蒸镀过程中精密金属掩模板朝向有机材料蒸镀源300的一面会一直累积有机材料。在累积到一定厚度后，会产生粉尘微粒，并被吸附到玻璃面板200上，降低产品的良品率。因此精密金属掩模板在累积一定的有机材料后，需要脱机进行清洗，清洗干净后才能重新导入蒸镀生产线。

精密金属掩模板100的底部是一个金属框架(Frame)，目前基本上采用殷钢(Invar，也叫不胀钢)制作，厚度在5cm左右，大小一般根据有源矩阵有机发光二极体或主动矩阵有机发光二极体(AMOLED)生产线上玻璃面板200的大小来定制金属框架的大小，目前AMOLED面板的主流生产线已经进入第六代(玻璃基板尺寸为1500mm x 1850mm)，就算是四分之一切大小的精密金属掩模板100的框架也要大于750mm x 925mm，重量也达到上百公斤。金属框架的上方具有掩模板(Mask)，掩模板的厚度一般在50微米以下，也是采用殷钢制作，目前普遍采用带状结构，两端绷紧焊接在金属框架上。

由于精密金属掩模板100非常精密且容易损伤，传统的清洗方式是以人力操作，先将精密金属掩模板100浸泡在有机溶剂槽中，静置到有机材料溶解后取出，再以有机溶剂喷淋，去除残余有机材料。但这方法的有机溶剂耗损大，设备占地面积大，操作时间长，通常洗一块要数个小时，容易损坏精密金属掩模板100，而且有机溶剂对工人健康有害，不环保。特别是AMOLED面板的主流生产线已经进入第六代，其玻璃基板的尺寸为1500mm x 1850mm，就算是四分之一切大小的精密金属掩模板100的重量也达到上百公斤，无法以人工清洗，急需自动化设备来达到快速清洗的目标。

发明内容

有鉴于此，本发明提供了一种能够自动移动并清洗精密金属掩模板的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，以解决上述问题。