[发明专利]直立式精密金属掩模板激光清洗系统

权利要求书

1.一种直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：包括依次连接且竖直设置的进料单元、清洁单元、清洗单元、干燥单元及检测出料单元；进料单元包括第一底座、第一顶盖、连接第一底座及第一顶盖的同一侧边的第一正面挡板、与第一正面挡板相对设置且连接于第一底座与第一顶盖之间的第一背面挡板、分别设置于第一正面挡板或第一背面挡板两侧的两个第一侧面挡板、设置于第一顶盖底面上的第一移动组件、设置于第一底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件，第一侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第一开口；清洁单元包括第二底座、第二顶盖、连接第二底座及第二顶盖的同一侧边的第二正面挡板、与第二正面挡板相对设置且连接于第二底座与第二顶盖之间的第二背面挡板、分别设置于第二正面挡板或第二背面挡板两侧的两个第二侧面挡板、设置于第二顶盖底面上的第一移动组件、设置于第二底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第二顶盖上的激光供应组件、设置于第二正面挡板的内侧的激光剥离组件、设置于第二顶盖上的两个吹风组件及设置于第二底座上的出风组件，第二侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第二开口；清洗单元包括第三底座、第三顶盖、连接第三底座及第三顶盖的同一侧边的第三正面挡板、与第三正面挡板相对设置且连接于第三底座与第三顶盖之间的第三背面挡板、分别设置于第三正面挡板或第三背面挡板两侧的两个第三侧面挡板、设置于第三顶盖底面上的第一移动组件、设置于第三底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第三顶盖上的两个冲洗组件，第三侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第三开口；干燥单元包括第四底座、第四顶盖、连接第四底座及第四顶盖的同一侧边的第四正面挡板、与第四正面挡板相对设置且连接于第四底座与第四顶盖之间的第四背面挡板、分别设置于第四正面挡板或第四背面挡板两侧的两个第四侧面挡板、设置于第四顶盖底面上的第一移动组件、设置于第四底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、两个分别设置于第一移动组件两侧的干燥模组，第四侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第四开口；检测出料单元包括第五底座、第五顶盖、连接第五底座及第五顶盖的同一侧边的第五正面挡板、与第五正面挡板相对设置且连接于第五底座与第五顶盖之间的第五背面挡板、分别设置于第五正面挡板或第五背面挡板两侧的两个第五侧面挡板、设置于第五顶盖底面上的第一移动组件、设置于第五底座上且与第一移动组件相对设置的第一导向组件、设置于第一移动组件的至少一侧的活动检测组件，第五侧面挡板中部对应第一移动组件开设有第五开口。

2.如权利要求1所述的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：所述第一移动组件朝向清洁单元的第一开口处设置有第一活动门组件；清洁单元的两个第二开口处均设置有第二活动门组件；清洗单元的两个第三开口处均设置有第三活动门组件；干燥单元的两个第四开口处均设置有第四活动门组件；检测出料单元朝向干燥单元的第五开口处设置有第五活动门组件；第一至第五活动门组件均包括活动门及用于驱动活动门移动的活动门驱动器。

3.如权利要求1所述的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：所述第一移动组件包括第一移动导轨、位于第一移动导轨一端的第一移动驱动单元、滑动设置于第一移动导轨上且由第一移动驱动单元驱动的第一移动电磁组件、固定设置于第一至第五顶盖中的任意一个的底面且位于第一移动导轨一端的一侧的第一固定电磁组件。

4.如权利要求1所述的直立式精密金属掩模板激光清洗系统，其特征在于：所述第一导向组件包括底部滚轮安装架、若干竖直转动地设置于底部滚轮安装架上的底部滚轮、设置于底部滚轮安装架两侧的侧面滚轮安装架、若干水平转动地设置于侧面滚轮安装架上的侧面滚轮，侧面滚轮的底部的高度大于底部滚轮的顶部的高度。