[发明专利]一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法有效
| 申请号： | 201910407879.4 | 申请日： | 2019-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN110196275B | 公开（公告）日： | 2022-04-05 |
| 发明（设计）人： | 陈奕睿;潘秀红;郭琳倩;李青;张国霞;汪正;邓伟杰;陈锟;艾飞 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 主分类号： | G01N27/626 | 分类号： | G01N27/626;H01J49/10 |
| 代理公司： | 上海瀚桥专利代理事务所(普通合伙) 31261 | 代理人： | 曹芳玲;姚佳雯 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池及其检测方法，包括：顶部具有开口且壳身部分设有用以分别连接气嘴和穿过导线的开孔的壳体；能够封住所述开口且允许激光剥蚀系统发出的激光穿透的顶盖；将所述壳体内的样品升温至熔融状态的加热系统。本发明能即时反映室温至高温状态下样品熔融、结晶，形变等状态、提供熔融温度、结晶温度、结晶时间等参数；并可以实时对样品进行剥蚀分析，表征高温下样品中相应元素迁移变化的过程。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 激光 剥蚀 系统 高温 实时 样品 及其 检测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种用于激光剥蚀系统的高温实时样品池，其特征在于，包括：顶部具有开口且壳身部分设有用以分别连接气嘴和穿过导线的开孔的壳体；能够封住所述开口且允许激光剥蚀系统发出的激光穿透的顶盖；将所述壳体内的样品升温至熔融状态的加热系统。
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