[发明专利]靶材搬运治具在审
| 申请号： | 201910362546.4 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110040427A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张金仕;黄喜南;黄文彬;甘举平;黄育敏 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/12 | 分类号： | B65G7/12;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 362005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明涉及太阳能电池制备技术领域，公开了一种靶材搬运治具，便于搬运靶材，减少靶材被污染现象的发生。该靶材搬运治具包括：装载头，所述装载头上设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有限位块；驱动组件，所述驱动组件与所述限位块连接，用于驱动所述限位块伸出所述第一凹槽和收缩进所述第一凹槽。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 搬运 治具 驱动组件 限位块 太阳能电池制备 污染现象 装载头 位块 收缩 装载 驱动 伸出 | ||
【主权项】：
1.一种靶材搬运治具，其特征在于，包括：装载头，所述装载头上设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有限位块；驱动组件，所述驱动组件与所述限位块连接，用于驱动所述限位块伸出所述第一凹槽和收缩进所述第一凹槽。
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