[发明专利]靶材搬运治具在审
| 申请号： | 201910362546.4 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110040427A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 张金仕;黄喜南;黄文彬;甘举平;黄育敏 | 申请（专利权）人： | 米亚索乐装备集成（福建）有限公司 |
| 主分类号： | B65G7/12 | 分类号： | B65G7/12;C23C14/34;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京中济纬天专利代理有限公司 11429 | 代理人： | 覃婧婵 |
| 地址： | 362005 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 靶材 搬运 治具 驱动组件 限位块 太阳能电池制备 污染现象 装载头 位块 收缩 装载 驱动 伸出 | ||
1.一种靶材搬运治具，其特征在于，包括：
装载头，所述装载头上设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有限位块；
驱动组件，所述驱动组件与所述限位块连接，用于驱动所述限位块伸出所述第一凹槽和收缩进所述第一凹槽。
2.根据权利要求1所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述限位块为两个，所述装载头上设有相对设置的两个所述第一凹槽。
3.根据权利要求1所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述装载头内设有第一滑槽；所述驱动组件包括：
第一弹性件，所述第一弹性件的个数与所述第一凹槽的个数一一对应，所述第一弹性件位于对应的所述第一凹槽内，所述第一弹性件的第一端与对应的所述限位块连接；
连接线，所述连接线的两端分别与一所述第一弹性件的第二端连接；
第一连接杆，所述第一连接杆与所述连接线交叉设置，所述第一连接杆与所述第一滑槽滑动连接，所述第一连接杆的第一端与所述连接线连接。
4.根据权利要求3所述的靶材搬运治具，其特征在于，还包括：设置于所述连接线朝向所述第一连接杆一侧的两个导向轮，两个所述导向轮分别位于所述第一连接杆的两侧。
5.根据权利要求1所述的靶材搬运治具，其特征在于，还包括：与所述装载头连通的第一连接部和与所述第一连接部连通的第二连接部，所述第一连接部和所述第二连接部形成L型把手。
6.根据权利要求5所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述驱动组件还包括：位于所述第一连接部内的第二连接杆和位于所述第二连接部内的第三连接杆，其中所述第二连接杆的第一端与所述第一连接杆的第二端铰接，所述第二连接杆的第二端与所述第三连接杆的第一端铰接，所述第二连接杆与所述第一连接部铰接，所述第三连接杆与所述第二连接部滑动连接。
7.根据权利要求6所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述第二连接部远离所述第一连接部的一端设有第二凹槽，所述驱动组件还包括：按钮，设置于所述第二凹槽内的第二弹性件，所述第二弹性件的第一端与所述按钮连接，所述第二弹性件的第二端与所述第二凹槽的槽底相抵，所述第二弹簧套装于所述第三连接杆。
8.根据权利要求7所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述装载头和所述第一连接部连接处设有缓冲垫圈。
9.根据权利要求1～8任一项所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述限位块设有便于靶材安装的导向斜面。
10.根据权利要求1～8任一项所述的靶材搬运治具，其特征在于，所述装载头的装载端为锥形。
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