[发明专利]靶材搬运治具

说明书

本发明涉及太阳能电池制备技术领域，公开了一种靶材搬运治具，便于搬运靶材，减少靶材被污染现象的发生。该靶材搬运治具包括：装载头，所述装载头上设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有限位块；驱动组件，所述驱动组件与所述限位块连接，用于驱动所述限位块伸出所述第一凹槽和收缩进所述第一凹槽。

技术领域

本发明涉及太阳能电池制备技术领域，尤其涉及一种靶材搬运治具。

背景技术

靶材是磁控溅射镀膜技术中的重要组成部分，太阳能电池在制备的过程中需要通过靶材溅射形成光电转化层，在磁控溅射镀膜技术中，靶材是高速荷能粒子轰击的目标材料，在生产太阳能电池制备过程中，需要更换不同的靶材得到不同的膜系。

这样就需要对靶材进行搬运，靶材成品重量在40kg左右，目前的搬运方法是人员直接接触靶材进行搬运，这样会很容易污染靶材，进而影响利用靶材形成的膜层的质量。

发明内容

为了解决上述技术问题，本发明提供了一种靶材搬运治具，便于搬运靶材，减少靶材被污染现象的发生。

本发明提供了一种靶材搬运治具，包括：

装载头，所述装载头上设有第一凹槽，所述第一凹槽内设有限位块；

驱动组件，所述驱动组件与所述限位块连接，用于驱动所述限位块伸出所述第一凹槽和收缩进所述第一凹槽。

在搬运靶材时，一般会用到两个如本发明提供的靶材搬运治具，先将靶材搬运治具的装载头插入对应的靶材的一端，靶材装载头上的限位块受到压力后会收缩进第一凹槽内，靶材的每一端均设有套筒法兰，限位块经过套筒法兰后，受到的压力会消失，此时限位块伸长，可以对套筒法兰进行限位固定，装载头和靶材将被相对固定，人可以手提装载头，实现对靶材的搬运，当需要将靶材从装载头上卸载下来时，通过驱动组件驱动限位块收缩进第一凹槽内，此时限位块将解除对靶材的套筒法兰的限位，方便操作人员将靶材从装载头上卸载下来。

本发明的其它特征和优点将在随后的说明书中阐述，并且，部分地从说明书中变得显而易见，或者通过实施本发明而了解。本发明的目的和其他优点可通过在说明书、权利要求书以及附图中所特别指出的结构来实现和获得。

附图说明

附图用来提供对本发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明提供的靶材搬运治具结构示意图；

图2为本发明提供的靶材搬运治具装载靶材过程中的一种状态示意图；

图3为本发明提供的靶材搬运治具装载靶材过程中的另一种状态示意图；

图4为本发明提供的靶材搬运治具使用状态示意图；

图5为本发明提供的靶材搬运治具卸载靶材过程中的状态示意图。

附图标记：1-装载头；11-限位块；111-导向斜面；12-第一凹槽；13-第一滑槽；2-驱动组件；21-第一弹性件；22-连接线；23-第一连接杆；24-第二连接杆；25-第三连接杆；26-按钮；27-第二弹性件；28-连接孔；29-连接板；3-导向轮；4-第一连接部；5-第二连接部；51-第二凹槽；52-第二滑槽；6-缓冲垫圈；7-靶材；8-套筒法兰；9-操作者；10-靶材搬运治具。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。