[发明专利]一种钼合金靶材制备方法在审
申请号: | 201910360325.3 | 申请日: | 2019-04-29 |
公开(公告)号: | CN111850485A | 公开(公告)日: | 2020-10-30 |
发明(设计)人: | 刘国军;李胜春;谈笑天;苏志倩;朱铁军 | 申请(专利权)人: | 汉能新材料科技有限公司 |
主分类号: | C23C14/34 | 分类号: | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/15;B22F3/04 |
代理公司: | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人: | 姜波 |
地址: | 101407 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本发明公开了一种钼合金靶材制备方法,所述制备方法包括:将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀;将上述混合均匀的钼粉和碱金属化合物粉装入冷等静压模具,进行冷等静压成型,得到靶坯;将所述靶坯装入包套并对所述包套抽真空后,进行热等静压成型;去除包套,得到钼合金靶材。与现有技术相比,本发明提供的钼合金靶材制备方法包括以下优点:通过在热等静压时使用包套避免了碱金属元素的流失,冷等静压和热等静压工艺的结合最大程度的提高了靶材的致密性和收缩的均匀性。 | ||
搜索关键词: | 一种 合金 制备 方法 | ||
【主权项】:
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