[发明专利]一种钼合金靶材制备方法

说明书

本发明公开了一种钼合金靶材制备方法，所述制备方法包括：将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀；将上述混合均匀的钼粉和碱金属化合物粉装入冷等静压模具，进行冷等静压成型，得到靶坯；将所述靶坯装入包套并对所述包套抽真空后，进行热等静压成型；去除包套，得到钼合金靶材。与现有技术相比，本发明提供的钼合金靶材制备方法包括以下优点：通过在热等静压时使用包套避免了碱金属元素的流失，冷等静压和热等静压工艺的结合最大程度的提高了靶材的致密性和收缩的均匀性。

技术领域

本发明涉及靶材制备领域，尤其涉及一种钼合金靶材制备方法。

背景技术

近年来，随着溅射靶材和溅射技术的日益发展，溅射靶材在溅射技术中起到了越来越重要的作用，溅射靶材的质量直接影响到了溅射后的成膜质量。其中，由钼和碱金属源形成的钼基碱金属合金靶材(以下均简称为钼合金靶材)作为铜铟镓硒太阳能电池溅射工艺路线中重要的原材料，主要是用于提供改善铜铟镓硒太阳能电池效率的碱金属来源。所以钼合金靶材材料性能的优劣直接影响到太阳能电池的光电转化效率。

当前钼合金靶材的制备方法主要是向钼基靶材添加碱金属的化合物，在高温下烧结以实现钠元素的掺杂，但是，在制备过程中碱金属的化合物在高温烧结时容易挥发，会造成碱金属元素的流失。另外，碱金属化合物的掺杂通常会导致靶材的致密性变差，影响钼合金靶材的性能。

发明内容

为了解决上述钼合金靶材制备过程中碱金属元素流失，以及钼合金靶材致密性差的问题，本发明提供了一种钼合金靶材的制备方法。

本发明提供的钼合金靶材的制备方法包括：

将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀；

将上述混合均匀的钼粉和碱金属化合物粉装入冷等静压模具，进行冷等静压成型，得到靶坯；

将所述靶坯装入包套并对所述包套抽真空后，进行热等静压成型；

去除包套，得到钼合金靶材。

与现有技术相比，本发明的钼合金靶材制备方法包括以下优点：通过在热等静压时使用包套，可以使热等静压过程在密闭环境中进行，从避免了碱金属元素的流失，冷等静压和热等静压工艺的结合，首先通过冷等静压使得靶坯初步成型和致密化，进一步的通过热等静压工艺提高靶材的致密化，从而最大程度的提高了靶材的致密性。

附图说明

附图用来提供对本实发明技术方案的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本申请的实施例一起用于解释本发明的技术方案，并不构成对本发明技术方案的限制。

图1为本发明一实施例示出的钼合金靶材制备方法的流程图；

图2为本发明一实施例示出的包套内部有支撑件的结构示意图；

图3为本发明一实施例示出的支撑件横截面结构示意图；

图4为本发明一实施例示出的支撑件横截面结构示意图。

附图标记：10-支撑件，20-包套，30-靶坯。

具体实施方式

为使本发明实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本发明实施例的附图，对本发明实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本发明的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本发明的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

如图1所示，本发明实施例提供的钼合金靶材的制备方法包括：

步骤S01：将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀。