[发明专利]一种钼合金靶材制备方法在审
| 申请号： | 201910360325.3 | 申请日： | 2019-04-29 |
| 公开（公告）号： | CN111850485A | 公开（公告）日： | 2020-10-30 |
| 发明（设计）人： | 刘国军;李胜春;谈笑天;苏志倩;朱铁军 | 申请（专利权）人： | 汉能新材料科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34;C23C14/14;B22F3/15;B22F3/04 |
| 代理公司： | 北京华夏泰和知识产权代理有限公司 11662 | 代理人： | 姜波 |
| 地址： | 101407 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 合金 制备 方法 | ||
1.一种钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述方法包括：
将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀；
将上述混合均匀的钼粉和碱金属化合物粉装入冷等静压模具，进行冷等静压成型，得到靶坯；
将所述靶坯装入包套并对所述包套抽真空后，进行热等静压成型；
去除包套，得到钼合金靶材。
2.根据权利要求1所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述碱金属化合物为钠化合物，钠元素的质量占钼粉和钠化合物粉质量总和的0.5％-5.0％。
3.根据权利要求2所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述钠化合物为氟化钠或钼酸钠。
4.根据权利要求1所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述碱金属化合物的熔点大于600℃。
5.根据权利要求1所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述将钼粉和碱金属化合物粉按比例混合均匀包括：
在混粉机中机械混合所述钼粉和碱金属化合物粉，所述混粉机内充有惰性气体。
6.根据权利要求1所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述冷等静压成型的压力为100MPa-240MPa，保压时间为0.5h-1h。
7.根据权利要求1所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述靶坯为管状靶坯，所述包套内部设有支撑件，所述支撑件为长度大于等于所述包套长度的柱体。
8.根据权利要求7所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述支撑件横截面为正多边形或带有凸起的圆形。
9.根据权利要求7所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述支撑件的材料为石墨、钼和钨中的一种。
10.根据权利要求1-9任一项所述的钼合金靶材制备方法，其特征在于，所述热等静压成型的压力为100MPa-240MPa，温度为1000℃-1550℃，保温时间为2h-10h。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于汉能新材料科技有限公司，未经汉能新材料科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201910360325.3/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：安装结构和光伏幕墙
- 下一篇：硅棒开方设备及应用于硅棒开方设备的边皮卸料装置
- 同类专利
- 专利分类
