[发明专利]一种自动调整磁控管管芯的同心度装置及其调节方法

摘要

一种自动调整磁控管管芯的同心度装置，包括固定板，固定板一侧设置有移动组件和转动组件，还包括和磁控管管芯相互装配，以及提供固定磁场的固定组件，转动组件和移动组件配合连接，转动组件带动移动组件作圆周运动；此外，磁控管管芯套设在移动组件内，移动组件带动磁控管管芯作纵向移动；固定板另一侧设置有用于提供电流的电源，电源和磁控管管芯互为电连接。本发明通过在固定板上设置移动组件和转动组件，此外，还包括控制移动组件和转动组件工作的中央控制程序，中央控制程序控制移动组件的位移，以及转动组件的转动位置，并进行数据记录，以实现磁控管管芯在加热状态下，解决阴阳极的同心度问题。

主权项

1.一种自动调整磁控管管芯的同心度装置，包括固定板(1)，其特征是所述固定板(1)一侧设置有移动组件和转动组件，转动组件的一端设置有用于装夹和提供固定磁场的固定组件、且二者之间夹设有磁控管管芯(9)，转动组件和移动组件配合连接，转动组件带动移动组件作圆周运动；此外，磁控管管芯(9)套设在移动组件内，移动组件带动磁控管管芯(9)作纵向移动；固定板(1)另一侧设置有用于提供电流的电源(2)，电源(2)和磁控管管芯(9)互为电连接。