[发明专利]一种自动调整磁控管管芯的同心度装置及其调节方法

权利要求书

1.一种自动调整磁控管管芯的同心度装置，包括固定板(1)，其特征是所述固定板(1)一侧设置有移动组件和转动组件，还包括和磁控管管芯(9)相互装配，以及提供固定磁场的固定组件，转动组件和移动组件配合连接，转动组件带动移动组件作圆周运动；此外，磁控管管芯(9)套设在移动组件内，移动组件带动磁控管管芯(9)作纵向移动；固定板(1)另一侧设置有用于提供电流的电源(2)，电源(2)和磁控管管芯(9)互为电连接。

2.根据权利要求1所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是所述转动组件包括驱动电机B(6)、驱动齿轮(7)和转动盘(8)，驱动电机B(6)、转动盘(8)分别和驱动齿轮(7)互为驱动连接，驱动电机B(6)通过驱动齿轮(7)带动转动盘(8)转动，转动盘(8)设置在固定板(1)的底端、且和固定板(1)互为转动连接。

3.根据权利要求2所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征所述转动盘(8)的外侧面设置有齿槽，齿槽和驱动齿轮(7)相互啮合。

4.根据权利要求3所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是所述转动盘(8)的底端设置有移动组件；移动组件包括拉杆(5)，磁控管管芯(9)套设在拉杆(5)内。

5.根据权利要求4所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是所述移动组件还包括驱动电机A(3)和丝杆(4)，驱动电机A(3)、拉杆(5)分别和丝杆(4)互为驱动连接，驱动电机A(3)通过丝杆(4)带动拉杆(5)作纵向移动，以使拉杆(5)带动磁控管管芯(9)作纵向移动。

6.根据权利要求5所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是所述固定组件包括夹头(12)，夹头(12)和磁控管管芯(9)相互扣合。

7.根据权利要求6所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是所述固定组件还包括套筒(10)和永磁铁(11)，所述套筒(10)、永磁铁(11)和夹头(12)依次相互装配。

8.根据权利要求1-6任一项所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是还包括控制移动组件和转动组件工作的中央控制程序。

9.一种自动调整磁控管管芯的同心度装置的调节方法，包括权利要求8所述自动调整磁控管管芯的同心度装置，其特征是：其调节方法为a、机械手将磁控管管芯(9)放入夹头(12)；

b、套筒(10)带动永磁铁(11)上升并锁紧夹头(12)，使磁控管管芯(9)固定；

c、移动组件和转动组件分别在固定板(1)带动下进而下沉，确保拉杆5套住磁控管管芯(9)，同时电源(2)插销式连接在磁控管管芯(9)端子部分并锁紧；

d、电源(2)通电后给予磁控管管芯(9)灯丝间3V交流、灯丝对地-2kV直流电压，同时监测灯丝对地的阳极暗电流值；

e、中央控制程序控制驱动电机A(3)让拉杆(5)作纵向1.5mm的位移拉动磁控管管芯(9)；

f、中央控制程序控制驱动电机B(6)让转动盘(8)转动，电脑系统记录转动的角度和对应的阳极暗电流值；

g、记录数据后，中央控制程序控制驱动电机B(6)让转动盘(8)转动到电流最小值的位置上；

h、中央控制程序控制驱动电机A(3)让拉杆(5)作纵向匀速运动拉动磁控管管芯(9)，同时监测灯丝对地的阳极暗电流值；

i、电脑系统分析阳极暗电流值的变化，当发现终值比前值差值为≥0.1mA时，停止运动让拉杆(5)马上复位；若检测阳极电流值与系统记录中最小值的差值＜0.1mA时，电脑系统判定合格。