[发明专利]一种自动调整磁控管管芯的同心度装置及其调节方法

说明书

一种自动调整磁控管管芯的同心度装置，包括固定板，固定板一侧设置有移动组件和转动组件，还包括和磁控管管芯相互装配，以及提供固定磁场的固定组件，转动组件和移动组件配合连接，转动组件带动移动组件作圆周运动；此外，磁控管管芯套设在移动组件内，移动组件带动磁控管管芯作纵向移动；固定板另一侧设置有用于提供电流的电源，电源和磁控管管芯互为电连接。本发明通过在固定板上设置移动组件和转动组件，此外，还包括控制移动组件和转动组件工作的中央控制程序，中央控制程序控制移动组件的位移，以及转动组件的转动位置，并进行数据记录，以实现磁控管管芯在加热状态下，解决阴阳极的同心度问题。

技术领域

本发明涉及一种同心度装置，具体是一种自动调整磁控管管芯的同心度装置及其调节方法。

背景技术

磁控管阴阳极同心度对磁控管性能是一个非常大的影响因素，目前大多磁控管厂家的控制方法都是在阴阳极焊接后采用光学投影自动纠偏的方法进行，但阴阳极同心度的关键是阴极灯丝和阳极叶片间同心，而磁控管结构本身影响，灯丝上下均有一外径大于灯丝的端帽连接，所以光学投影仅能纠正端帽与阳极的同心未能真正解决阴阳极的同心问题，还有灯丝在工作过程温度达到上千度，灯丝本身或其他支撑结构都有可能因为本身存在的一些应力释放造成灯丝形变，此时阴阳极同心又会发生改变。

中国专利文献号CN1047937A于1990.12.09公开一种磁控管阴极与阳极同心度调整技术，包括磁控管、调整施加压力部位、电磁铁、电流表、示波器和励磁电源。该结构采用的是“直流最小点法”或“示波器显示法”，即通过观察磁控管阳极电流变化，确定阳极位置，调整阴极位置；或者在通过使用示波器对直流磁感应强度进行锯齿波扫描，根据示渡器上显示的阳极电流与磁感应强度相关曲线形状，调整阴极位置，使示玻器上显示的阳极电流下降部份曲线最陡为止，此时酸控管阳极与阳极同心度赴于最佳状态。该方法没有配备较好的自动化调整，以及装夹磁控管管芯的设备。因此有待进一步改进。

发明内容

本发明的目的旨在提供一种结构简单合理、制作成本较低、安装灵活快捷、且有效解决热态管芯的阴阳极同心度问题，提高阴阳极同心度的自动调整磁控管管芯的同心度装置及其调节方法，以克服现有技术中的不足之处。

按此目的设计的一种自动调整磁控管管芯的同心度装置，包括固定板，所述固定板一侧设置有移动组件和转动组件，还包括和磁控管管芯相互装配，以及提供固定磁场的固定组件，转动组件和移动组件配合连接，转动组件带动移动组件作圆周运动；此外，磁控管管芯套设在移动组件内，移动组件带动磁控管管芯作纵向移动；固定板另一侧设置有用于提供电流的电源，电源和磁控管管芯互为电连接。电源提供稳定灯丝电压和阳极电压，作为检测阳极电流的检测部位。

所述移动组件为磁控管芯提供纵向的驱动力，以使移动组件作为调整磁控管芯阴极和阳极相对位置的调试部位。转动组件给移动组件提供360°旋转。还包括控制移动组件和转动组件工作的中央控制程序，中央控制程序控制移动组件的固定位移运动，以及控制转动组件的圆周运动，电脑系统记录圆周运动相应位置所对应的阳极电流值，筛选最小值并调整转动组件转动到该位置上，然后控制移动组件作匀速运动，监控阳极电流最小值，完成复位。通过以上的自动调试步骤完成阴阳极的相对位置调整，达到最佳同心的目的。

所述转动组件包括驱动电机B、驱动齿轮和转动盘，驱动电机B、转动盘分别和驱动齿轮互为驱动连接，驱动电机B通过驱动齿轮带动转动盘转动，转动盘设置在固定板的底端、且和固定板互为转动连接。

所述转动盘的外侧面设置有齿槽，齿槽和驱动齿轮相互啮合。

所述转动盘的底端设置有移动组件；移动组件包括抓紧管芯阴极和联动电机作纵向拉拔的拉杆，磁控管管芯套设在拉杆内。

所述移动组件还包括驱动电机A和丝杆，驱动电机A、拉杆分别和丝杆互为驱动连接，驱动电机A通过丝杆带动拉杆作纵向移动，以使拉杆带动磁控管管芯作纵向移动。

还包括和磁控管管芯相互装配的固定组件，固定组件包括夹头，夹头和磁控管管芯相互扣合。