[发明专利]激光轴确认用夹具单元以及夹具在审
申请号: | 201910341947.1 | 申请日: | 2019-04-25 |
公开(公告)号: | CN110405336A | 公开(公告)日: | 2019-11-05 |
发明(设计)人: | 西尾仁孝;高松生芳;上野勉;酒井敏行 | 申请(专利权)人: | 三星钻石工业股份有限公司 |
主分类号: | B23K26/035 | 分类号: | B23K26/035 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 肖茂深 |
地址: | 日本国*** | 国省代码: | 日本;JP |
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摘要: | 本发明提供能够通过简单的操作高精度地确认光轴的位置能够提高光轴调整作业的效率的激光轴确认用夹具单元及夹具。所述激光轴确认用夹具单元包括配置于激光的光路的夹具安装构件(14)和装卸自如地安装于该夹具安装构件(14)的夹具主体(19),夹具主体(14)具备用于使激光贯穿的贯通孔,在该贯通孔形成有从激光的贯穿方向观察时呈十字形的十字形格子(21),夹具主体设定为,将夹具主体(19)安装于夹具安装构件(14)时,十字形格子(21)的中心与规定的激光路的光轴中心一致,且在夹具主体(19)的外周面设置有用于插入遮挡激光的感热纸的狭缝(22),将十字形格子(21)的影子投影于插入该狭缝(22)的感热纸。 | ||
搜索关键词: | 夹具主体 十字形 激光 夹具安装 夹具单元 激光轴 格子 夹具 贯通孔 热纸 狭缝 方向观察 光轴调整 光轴中心 装卸自如 外周面 贯穿 光路 光轴 遮挡 投影 影子 配置 | ||
【主权项】:
1.一种激光轴确认用夹具单元,其为在激光加工装置中使用的激光轴确认用的夹具单元,该激光加工装置将来自激光源的激光经由多个反射镜引导至加工用光学系统,并利用来自该加工用光学系统的集束激光对脆性材料基板进行加工,其中,所述激光轴确认用夹具单元包括:配置于激光的光路中的夹具安装构件;和装卸自如地安装于所述夹具安装构件的夹具主体,所述夹具主体具备用于使激光贯穿的贯通孔,在该贯通孔形成有从激光的贯穿方向观察时呈十字形的十字形格子,所述夹具主体设定为,若激光路的光轴中心位于规定的位置,则在将所述夹具主体安装于所述夹具安装构件时,所述十字形格子的中心与激光路的光轴中心一致,并且,在所述夹具主体的外周面设置有用于插入对激光进行遮挡的感热纸的狭缝,所述夹具主体形成为能够将所述十字形格子的影子投影于插入该狭缝的感热纸。
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