[发明专利]激光轴确认用夹具单元以及夹具

权利要求书

1.一种激光轴确认用夹具单元，其为在激光加工装置中使用的激光轴确认用的夹具单元，该激光加工装置将来自激光源的激光经由多个反射镜引导至加工用光学系统，并利用来自该加工用光学系统的集束激光对脆性材料基板进行加工，其中，

所述激光轴确认用夹具单元包括：

配置于激光的光路中的夹具安装构件；和

装卸自如地安装于所述夹具安装构件的夹具主体，

所述夹具主体具备用于使激光贯穿的贯通孔，在该贯通孔形成有从激光的贯穿方向观察时呈十字形的十字形格子，所述夹具主体设定为，若激光路的光轴中心位于规定的位置，则在将所述夹具主体安装于所述夹具安装构件时，所述十字形格子的中心与激光路的光轴中心一致，

并且，在所述夹具主体的外周面设置有用于插入对激光进行遮挡的感热纸的狭缝，所述夹具主体形成为能够将所述十字形格子的影子投影于插入该狭缝的感热纸。

2.根据权利要求1所述的激光轴确认用夹具单元，其中，

所述夹具安装构件具备具有激光贯穿用的孔的座板，在该座板通过嵌合凹部以及嵌合凸部安装有所述夹具主体。

3.根据权利要求1或者2所述的激光轴确认用夹具单元，其中，

所述狭缝形成为延长至所述十字形格子的部分，所插入的感热纸被夹持在由狭缝分割的所述十字形格子之间。

4.一种激光轴确认用夹具，其为激光加工装置的激光轴确认用的夹具，该激光加工装置将来自激光源的激光经由多个反射镜引导至加工用光学系统，并利用来自该加工用光学系统的集束激光对脆性材料基板进行加工，其中，

所述激光轴确认用夹具具备配置于激光的光路中的夹具主体，

所述夹具主体具备用于使激光贯穿的贯通孔，在该贯通孔形成有从激光的贯穿方向观察时呈十字形的十字形格子，所述夹具主体设定为，若激光路的光轴中心位于规定的位置，则在将所述夹具主体配置于所述光路中时，所述十字形格子的中心与规定的激光路的光轴中心一致，

并且，在所述夹具主体的外周面设置有用于插入对激光进行遮挡的感热纸的狭缝，所述夹具主体形成为能够将所述十字形格子的影子投影于插入该狭缝的感热纸。