[发明专利]激光轴确认用夹具单元以及夹具

说明书

本发明提供能够通过简单的操作高精度地确认光轴的位置能够提高光轴调整作业的效率的激光轴确认用夹具单元及夹具。所述激光轴确认用夹具单元包括配置于激光的光路的夹具安装构件(14)和装卸自如地安装于该夹具安装构件(14)的夹具主体(19)，夹具主体(14)具备用于使激光贯穿的贯通孔，在该贯通孔形成有从激光的贯穿方向观察时呈十字形的十字形格子(21)，夹具主体设定为，将夹具主体(19)安装于夹具安装构件(14)时，十字形格子(21)的中心与规定的激光路的光轴中心一致，且在夹具主体(19)的外周面设置有用于插入遮挡激光的感热纸的狭缝(22)，将十字形格子(21)的影子投影于插入该狭缝(22)的感热纸。

技术领域

本发明涉及激光加工装置中的激光轴确认用夹具单元。本发明尤其涉及在激光加工装置中在调整激光的光轴(移动至规定位置)时所使用的夹具单元以及夹具，该激光加工装置将来自激光源的激光经由多个反射镜引导至加工用光学系统(以下称为“激光照射嘴”)，并利用来自该激光照射嘴的集束激光在脆性材料基板加工分割用的刻划线。

背景技术

一般而言，在向玻璃基板等的脆性材料基板照射激光从而加工分割用的刻划线的基板加工装置中，将激光照射嘴配置于导轨，通过使固定有基板的工作台沿与导轨的长度方向垂直的方向移动从而使激光扫描，在每次扫描中通过使激光照射嘴沿导轨间距进给从而将激光的照射位置移动到加工下一条刻划线的位置。在这种情况下，构成为根据与组装于装置的各种附属设备、部件的位置关系，来自固定于装置的激光源的激光被多个反射镜反射而被引导至激光照射嘴，但若从激光源到激光照射嘴的激光路的光轴偏离规定位置，则激光照射嘴的加工性能降低，从而不能精美地形成刻划线。例如，若激光的光轴不与沿导轨的激光照射嘴的移动方向平行，则在使激光照射嘴沿导轨间距进给时，在激光照射嘴的上方被反射而从激光照射嘴自上方向基板照射的激光的照射状态(在激光照射嘴上方的反射角度等)发生变化，因此不能准确地形成下一条刻划线。

于是，作为用于调整光轴的方案，已知有在例如专利文献1和专利文献2示出的方案。

在专利文献1中，在激光加工装置中，在配置于激光路中的两个反射镜的前侧反射镜的后方以及后侧反射镜的前方分别设置有靶保持架，该靶保持架将被称作光轴调整用的十字线的靶板保持为装卸自如。而且，在光轴调整时，将靶板插入各个靶保持架，通过2块靶板将投影的影像映射到屏幕上，一边观察该影像一边调整反射镜的倾斜角。

另外，在专利文献2中，通过光轴调整装置进行调整，该光轴调整装置包括设置于激光路中的两个分离反射镜和分别驱动上述两个分离反射镜摇摆倾斜的驱动器。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-226767号公报

专利文献2：日本特开2005-103598号公报

但是，在专利文献1的装置中，将2块靶板分别相对于前后的靶保持架装卸的操作以及将映射这些靶板的影像的屏幕设置于光路中的操作非常繁琐，并且构件部件也多从而结构复杂。

另外，在专利文献2的装置中，需要含有多个分离反射镜的光学系统和附属于该光学系统的致动器从而装置价格高昂，并且存在必须确保用于设置这些构件的空间的问题。

发明内容

发明要解决的课题

于是，本发明的目的在于，实现这种以往课题的解决方案，以简单的结构及低廉的价格提供能够通过简单的操作高精度确认光轴的位置从而提高光轴调整作业的效率的夹具单元以及夹具。

用于解决课题的手段