[发明专利]工艺数据监控方法及工艺数据监控系统

摘要

本发明提供一种工艺数据监控方法及工艺数据监控系统。该工艺数据监控方法通过将分别对应生产多个显示面板的多个工艺数据划分为满足正态分布的多个第一工艺数据以及不满足正态分布的多个第二工艺数据，获取多个第一工艺数据与多个第二工艺数据中具有差异的多个关键因子，将对应产生关键因子的多个第一工艺数据进行数据拟合，得到拟合曲线，获取所有工艺数据与拟合曲线的残差，通过每一工艺数据对应的残差判断每一工艺数据为正常工艺数据或异常工艺数据，从而有效监控异常工艺数据，进而判断与每一工艺数据对应的显示面板为正常显示面板或异常显示面板，提升异常工艺产品拦截效率。

主权项

1.一种工艺数据监控方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、获取生产设备用于分别对应生产多个显示面板的多个工艺数据，将多个工艺数据划分为满足正态分布的多个第一工艺数据以及不满足正态分布的多个第二工艺数据；步骤S2、获取多个第一工艺数据与多个第二工艺数据中具有差异的多个关键因子；步骤S3、将对应产生关键因子的多个第一工艺数据进行数据拟合，得到拟合曲线；步骤S4、获取所有工艺数据与拟合曲线的残差，通过每一工艺数据对应的残差判断每一工艺数据为正常工艺数据或异常工艺数据，从而判断与每一工艺数据对应的显示面板为正常显示面板或异常显示面板。