[发明专利]一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法

摘要

本发明公开一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法，采用一种耐蚀刻薄膜涂在或粘在玻璃表面，保护被薄膜覆盖的玻璃表面不被蚀刻液蚀刻，将玻璃整体放入蚀刻液中，没有覆盖耐刻蚀薄膜的玻璃表面被蚀刻液蚀刻，被耐刻蚀薄膜覆盖的玻璃表面由于薄膜的保护不被蚀刻液蚀刻，蚀刻完成后将玻璃取出清洗干净，将耐蚀刻薄膜剥离，使用台阶仪扫描玻璃表面，测量有耐蚀刻膜保护和没有耐蚀刻膜保护玻璃表面的高度差，可以得出玻璃锡面的耐HF酸蚀刻数据。解决以往刻蚀数据无法区分玻璃锡面和空气面的问题。

主权项

1.一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法，包括以下步骤：（1）在玻璃基板上垂直于浮法方向的不同部位切取玻璃样品；（2）使用无水乙醇清洗玻璃样品后用纯水冲洗，清除玻璃样品表面的污渍，防止污渍影响测试结果；（3）使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面贴上一半；（4）使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面全部贴上；（5）85℃烘干玻璃样品，冷却至40℃，保持5分钟；（6）刻蚀液体积比为HF：H₂O＝2:8，装在聚四氟乙烯材料或铅质的容器中，放在水浴锅内，水浴锅温度保持在38±2℃；（7）将冷却至40℃的玻璃样品放入HF刻蚀液中，确保玻璃全部没入刻蚀液中刻蚀10min；（8）取出玻璃样品，使用清水冲洗后，揭去耐蚀刻膜 ；（9）使用无水乙醇清洗玻璃样品，并用清水冲洗后吹干；（10）使用台阶仪扫描玻璃样品表面，测量有耐蚀刻膜保护和没有耐蚀刻膜保护玻璃表面的高度差，得出玻璃锡面的耐HF酸蚀刻数据；（11）测量玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据，包括上述十个步骤，其中所述步骤（3）改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面贴上一半，所述步骤（4）改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面全部贴上，其余步骤与上述相同，即可得出玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据。