[发明专利]一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法在审
| 申请号： | 201910328279.9 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110044803A | 公开（公告）日： | 2019-07-23 |
| 发明（设计）人： | 侯建伟;刘文瑞;朱永迁 | 申请（专利权）人： | 蚌埠中光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G01N17/00 | 分类号： | G01N17/00;C03C15/00 |
| 代理公司： | 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 | 代理人： | 倪波 |
| 地址： | 233000 安徽*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 玻璃表面 蚀刻 蚀刻液 耐蚀 测量玻璃 刻蚀薄膜 蚀刻性能 玻璃锡 膜保护 薄膜 扫描玻璃表面 玻璃 薄膜剥离 薄膜覆盖 高度差 酸蚀刻 台阶仪 放入 覆盖 刻蚀 清洗 测量 取出 | ||
1.一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法，包括以下步骤：
（1）在玻璃基板上垂直于浮法方向的不同部位切取玻璃样品；
（2）使用无水乙醇清洗玻璃样品后用纯水冲洗，清除玻璃样品表面的污渍，防止污渍影响测试结果；
（3）使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面贴上一半；
（4）使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面全部贴上；
（5）85℃烘干玻璃样品，冷却至40℃，保持5分钟；
（6）刻蚀液体积比为HF：H2O＝2:8，装在聚四氟乙烯材料或铅质的容器中，放在水浴锅内，水浴锅温度保持在38±2℃；
（7）将冷却至40℃的玻璃样品放入HF刻蚀液中，确保玻璃全部没入刻蚀液中刻蚀10min；
（8）取出玻璃样品，使用清水冲洗后，揭去耐蚀刻膜 ；
（9）使用无水乙醇清洗玻璃样品，并用清水冲洗后吹干；
（10）使用台阶仪扫描玻璃样品表面，测量有耐蚀刻膜保护和没有耐蚀刻膜保护玻璃表面的高度差，得出玻璃锡面的耐HF酸蚀刻数据；
（11）测量玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据，包括上述十个步骤，其中所述步骤（3）改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面贴上一半，所述步骤（4）改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面全部贴上，其余步骤与上述相同，即可得出玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据。
2.根据权利要求1所述的一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法，其特征在于；所述耐蚀刻膜为耐酸碱蚀刻保护膜。
3.根据权利要求1所述的一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法，其特征在于；所述耐蚀刻膜为UV剥离型胶带。
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