[发明专利]一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法在审

专利信息
申请号: 201910328279.9 申请日: 2019-04-23
公开(公告)号: CN110044803A 公开(公告)日: 2019-07-23
发明(设计)人: 侯建伟;刘文瑞;朱永迁 申请(专利权)人: 蚌埠中光电科技有限公司
主分类号: G01N17/00 分类号: G01N17/00;C03C15/00
代理公司: 安徽省蚌埠博源专利商标事务所 34113 代理人: 倪波
地址: 233000 安徽*** 国省代码: 安徽;34
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摘要:
搜索关键词: 玻璃表面 蚀刻 蚀刻液 耐蚀 测量玻璃 刻蚀薄膜 蚀刻性能 玻璃锡 膜保护 薄膜 扫描玻璃表面 玻璃 薄膜剥离 薄膜覆盖 高度差 酸蚀刻 台阶仪 放入 覆盖 刻蚀 清洗 测量 取出
【说明书】:

发明公开一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法,采用一种耐蚀刻薄膜涂在或粘在玻璃表面,保护被薄膜覆盖的玻璃表面不被蚀刻液蚀刻,将玻璃整体放入蚀刻液中,没有覆盖耐刻蚀薄膜的玻璃表面被蚀刻液蚀刻,被耐刻蚀薄膜覆盖的玻璃表面由于薄膜的保护不被蚀刻液蚀刻,蚀刻完成后将玻璃取出清洗干净,将耐蚀刻薄膜剥离,使用台阶仪扫描玻璃表面,测量有耐蚀刻膜保护和没有耐蚀刻膜保护玻璃表面的高度差,可以得出玻璃锡面的耐HF酸蚀刻数据。解决以往刻蚀数据无法区分玻璃锡面和空气面的问题。

技术领域

本发明涉及玻璃领域,具体地说是一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法。

背景技术

玻璃的耐HF酸性能测试通常使用失重法,称取蚀刻前的玻璃重量W0,将玻璃放入蚀刻液中蚀刻,取出玻璃洗净烘干,称取蚀刻后重量W1;蚀刻重量W=蚀刻前重量W0-蚀刻后重量W1;蚀刻厚度H=蚀刻重量W/玻璃表面积S玻璃表面积S=玻璃长Lx玻璃宽Wx2+玻璃长Lx玻璃高Hx2+玻璃宽Wx玻璃高Hx2。

这种失重法存在以下缺点:

1、失重法刻蚀厚度由重量除以表面积推算得出,精度取决于重量的精度和长度测量的精度;

2、浮法玻璃锡面和非锡面化学成分有轻微区别,导致玻璃耐HF酸蚀刻也有区别,失重法无法区分这个区别。

发明内容

为了克服现有失重法测量存在的缺点,本发明的目的在于提供一种玻璃耐HF蚀刻性能的测量方法,。

为实现上述发明目的,本发明提供一种测量玻璃耐HF蚀刻性能的方法,包括以下步骤:

(1)在玻璃基板上垂直于浮法方向的不同部位切取玻璃样品;

(2)使用无水乙醇清洗玻璃样品后用纯水冲洗,清除玻璃样品表面的污渍,防止污渍影响测试结果;

(3)使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面贴上一半;

(4)使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面全部贴上;

(5)85℃烘干玻璃样品,冷却至40℃,保持5分钟;

(6)刻蚀液体积比为HF:H2O=2:8,装在聚四氟乙烯材料或铅质的容器中,放在水浴锅内,水浴锅温度保持在38±2℃;

(7)将冷却至40℃的玻璃样品放入HF刻蚀液中,确保玻璃全部没入刻蚀液中刻蚀10min;

(8)取出玻璃样品,使用清水冲洗后,揭去耐蚀刻膜 ;

(9)使用无水乙醇清洗玻璃样品,并用清水冲洗后吹干;

(10)使用台阶仪扫描玻璃样品表面,测量有耐蚀刻膜保护和没有耐蚀刻膜保护玻璃表面的高度差,得出玻璃锡面的耐HF酸蚀刻数据;

(11)测量玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据,包括上述十个步骤,其中所述步骤(3)改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃空气面贴上一半,所述步骤(4)改为使用耐蚀刻膜平行于玻璃短边方向沿玻璃中线将玻璃锡面全部贴上,其余步骤与上述相同,即可得出玻璃空气面耐HF酸蚀刻数据。

进一步地,所述耐蚀刻膜为耐酸碱蚀刻保护膜。

更进一步地,所述耐蚀刻膜为UV剥离型胶带。

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